[發明專利]一種環套式分立控制圖案化有機電致發光器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201811600445.8
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109686861B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 祝樹煒;魏斌;嚴利民;寶慶云;謝孟坤;管新波
• 申請（專利權）人: 上海晶合光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 代芳

本發明提供了一種環套式分立控制圖案化有機電致發光器件的制備方法，先制備內層電極，再完成內外分立的ITO電極、可分立控制的圖案化電極的制備，最后依次蒸鍍有機層、金屬電極，得到環套式分立控制圖案化有機電致發光器件。本發明提供的制備方法工藝簡單，成本低，通過對圖案化電極的疊層設計，使得有機電致發光器件具有環套結構，且精度高、體積小，能夠實現有機電致發光器件圖案的內外可分立發光；本發明無需燈罩的輔助工藝，可以節約有機電致發光器件的體積。

技術領域

本發明涉及有機電致發光器件技術領域，特別涉及一種環套式分立控制圖案化有機電致發光器件及其制備方法。

背景技術

近些年來，有機電致發光器件已經普遍應用于實際生產生活中，尤其是在照明顯示領域已然大放異彩，相比較于傳統的無機電致發光器件，其研究、制備和應用已成為當今最為活躍的研究領域之一。有機電子器件是以能夠導電的有機材料為基礎制備的具有特定功能的半導體器件。由于有機電子器件中的有機材料大部分是由碳和氫組成的，用它們來做電子器件具有很多好處，例如易制作、成本低、化學可調、透明易彎曲等。利用有機電子器件的這些優點可以將其應用于圖案化大面積顯示領域(如汽車尾燈、燈牌等)。

有時根據實際需求，需要設計具有環套結構且可以實現內外分立發光的圖案。以往對于這種圖案在有機發光領域需要運用微顯示技術，分立控制每一個像素點，再將其組裝后發光顯示。但這種技術通常用于顯示領域，如果將其引入照明領域，每一個像素點無法保證足夠穩定的亮度且制備成本高。在無機照明領域，通常則是采用拼接發光的方法，即內外分別制備不同圖案的獨立器件，且運用燈罩或拼接單個LED燈泡實現圖案化。但這種方法精度不夠高，會造成體積浪費。

發明內容

有鑒于此，本發明目的在于提供一種環套式分立控制圖案化有機電致發光器件及其制備方法。本發明提供的有機電致發光器件具有環套結構，且精度高，成本低，體積小，能夠實現圖案化電致發光器件的內外可分立發光。

為了實現上述發明目的，本發明提供以下技術方案：

一種環套式分立控制圖案化有機電致發光器件的制備方法，包括以下步驟：

(1)在ITO導電玻璃上依次制備第一金屬導電層和透明絕緣層，并對透明絕緣層進行圖案化刻蝕，得到內層電極；

(2)在所述內層電極上濺射ITO層，對所述ITO層進行模塊化刻蝕，得到內外分立的ITO電極；

(3)在所述內外分立的ITO電極表面制備第二金屬導電層，然后在所述第二金屬導電層表面旋涂光刻膠，對所述光刻膠進行圖案化光刻后固化，得到可分立控制的圖案化電極；

(4)在所述可分立控制的圖案化電極上蒸鍍有機層，所述有機層自下而上依次包括空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層和電子注入層；

(5)在所述有機層表面蒸鍍金屬電極，得到環套式分立控制圖案化有機電致發光器件。

優選的，所述步驟(1)中第一金屬導電層的材質為鉬鋁鉬、銀和銅中的一種或幾種，所述第一金屬導電層的厚度為130～170nm；所述第一金屬導電層通過磁控濺射法制備得到，所述磁控濺射的功率為150W，退火溫度為250℃，濺射時間為30min。

優選的，所述步驟(1)中透明絕緣層的材質為SiO₂和/或Si₃N₄，所述透明絕緣層的厚度為90～110nm；所述透明絕緣層通過原子層沉積法制備得到，所述原子層沉積的溫度為140～160℃。

優選的，所述步驟(1)中對透明絕緣層進行圖案化刻蝕的方法包括以下步驟：

(1)在透明絕緣層上旋涂光刻膠后進行前烘，形成光刻膠層；

(2)在所述光刻膠層上放置圖案電極菲林板后進行曝光；