[發明專利]磁性元件、使用其的渦電流式傳感器、研磨裝置、研磨方法以及計算機可讀取記錄介質

有效

• 申請號: 201811599497.8
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN110030918B
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發明（設計）人: 高橋太郎;澀江宏明;渡邊和英
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06;B24B37/013;B24B49/10
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種磁性元件，其特征在于，具有：

底部磁性體；

中央磁性體，該中央磁性體設于所述底部磁性體的中央；

周邊部磁性體，該周邊部磁性體設于所述底部磁性體的周邊部；

能夠產生磁場的內部勵磁線圈，該內部勵磁線圈配置在所述中央磁性體的外周；以及

能夠產生磁場的外部勵磁線圈，該外部勵磁線圈配置在所述周邊部磁性體的外周，

當電流在所述內部勵磁線圈與所述外部勵磁線圈中向不同方向流動時，所述內部勵磁線圈在所述中央磁性體內產生的磁場的方向與所述外部勵磁線圈在所述中央磁性體內產生的磁場的方向相同，

當電流在所述內部勵磁線圈與所述外部勵磁線圈中向相同方向流動時，所述內部勵磁線圈在所述中央磁性體內產生的磁場的方向與所述外部勵磁線圈在所述中央磁性體內產生的磁場的方向相反。

2.如權利要求1所述的磁性元件，其特征在于，

所述底部磁性體具有柱狀的形狀，所述周邊部磁性體配置在所述柱狀的形狀的兩端。

3.如權利要求1所述的磁性元件，其特征在于，

所述周邊部磁性體在所述底部磁性體的周邊部設有多個。

4.如權利要求1所述的磁性元件，其特征在于，

所述周邊部磁性體是以包圍所述中央磁性體的方式設于所述底部磁性體的周邊部的壁部。

5.如權利要求1至4中任一項所述的磁性元件，其特征在于，

所述內部勵磁線圈和所述外部勵磁線圈能夠電并聯地連接。

6.如權利要求1至4中任一項所述的磁性元件，其特征在于，

所述內部勵磁線圈在所述中央磁性體內產生的磁場的方向與所述外部勵磁線圈在所述中央磁性體內產生的磁場的方向能夠相同。

7.如權利要求1至4中任一項所述的磁性元件，其特征在于，

具有能夠檢測磁場的檢測線圈，該檢測線圈配置在所述中央磁性體的外周及/或所述周邊部磁性體的外周。

8.如權利要求7所述的磁性元件，其特征在于，

具有能夠檢測磁場的虛擬線圈，該虛擬線圈配置在所述中央磁性體的外周及/或所述周邊部磁性體的外周。

9.如權利要求1至4中任一項所述的磁性元件，其特征在于，

具有能夠檢測磁場的檢測線圈和能夠檢測磁場的虛擬線圈，該檢測線圈配置在所述中央磁性體的外周，該虛擬線圈配置在所述中央磁性體的外周。

10.一種渦電流式傳感器，其特征在于，

具有權利要求7至9中任一項所述的磁性元件。

11.一種研磨裝置，其特征在于，具有：

研磨臺，用于研磨被研磨物的研磨墊能夠貼附于該研磨臺；

驅動部，該驅動部能夠驅動所述研磨臺旋轉；

保持部，該保持部能夠保持所述被研磨物并將所述被研磨物向所述研磨墊按壓；

如權利要求10所述的渦電流式傳感器，該渦電流式傳感器配置在所述研磨臺的內部，通過所述檢測線圈能夠檢測出伴隨所述研磨臺的旋轉而利用所述內部勵磁線圈和所述外部勵磁線圈形成于所述被研磨物的渦電流；以及

終點檢測部，該終點檢測部能夠根據所述檢測出的所述渦電流對表示所述被研磨物的研磨的結束的研磨終點進行檢測。

12.如權利要求11所述的研磨裝置，其特征在于，

所述終點檢測部根據所述檢測出的所述渦電流確定所述被研磨物的研磨速率，計算在以所述研磨速率對所述被研磨物進行研磨時的預期研磨量，從而能夠檢測所述研磨終點。