[發明專利]10代線掩膜版箱子清洗系統及清洗方法

在審

• 申請號: 201811596039.9
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109482591A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 林偉;呂振群
• 申請（專利權）人: 成都路維光電有限公司
• 主分類號: B08B9/08
• 分類號: B08B9/08;B08B9/093
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

本發明公開了10代線掩膜版箱子清洗系統及清洗方法，所述清洗系統包括清洗裝置，所述清洗裝置包括清洗槽和腔體，所述腔體環設在清洗槽外側，所述腔體上設置有豎直缺口，在缺口處配合設置有軟簾，所述腔體的側壁設置有進液口，所述清洗槽的底部設置有排液口，所述腔體的高度高于清洗槽的高度。本發明不僅能夠實現實現對10代線掩膜版箱子的清洗，而且解決了人工清洗導致清洗不全面、二次污染和箱體表面受損的問題。

技術領域

本發明涉及掩膜版制作技術領域，具體涉及10代線掩膜版箱子清洗系統及清洗方法。

背景技術

在掩膜版制造過程中，需要用到箱子來存放和運輸掩膜版成品，由于掩膜版是高潔凈度的產品，存放和運輸過程均要求避免受到污染，特別是灰塵，因此裝載掩膜版的箱子也必須是高潔凈度的，在用來裝載掩膜版之前，箱子必須經過清潔，清除臟污和灰塵。

普通尺寸的掩膜版箱子，都是由PVC材料制成無透明的，其清潔方法為：1、無塵布沾酒精后，將箱子及蓋子里外所有地方擦拭過；2、再用新的無塵布，沾酒精后，將箱子及蓋子的內表面重新擦拭過；3、靜置5分鐘后，箱子蓋上蓋子備用。

現有的箱子清潔方法，對于小尺寸箱子(1米以內)來說，有操作便利快捷等優點，但是對于8代線、10代線的箱子來說就明顯不適用了，首先，8代線以上的箱子尺寸在1米到2米之間，如還是人工用手拿無塵布擦拭的話，手臂很難伸展到箱子的各個部位；其次，采用人工用手去擦拭，在工作過程中，人身體衣服上的灰塵容易掉落到箱子里，造成循環污染；再者，8代線以上尺寸掩膜版的箱子，均是采用透明的有機玻璃制作，如使用酒精擦拭的話會使有機玻璃表面受損，變得模糊而不再透明。綜上，由于8代線和10代線掩膜版箱子在尺寸和材料上的不同，現有的箱子清潔方法將不再適用。

發明內容

本發明的目的在于提供10代線掩膜版箱子清洗系統，實現對10代線掩膜版箱子的清洗，解決人工清洗導致清洗不全面、二次污染和箱體表面受損的問題。

此外，本發明還提供上述清洗系統的清洗方法。

本發明通過下述技術方案實現：

10代線掩膜版箱子清洗系統，包括清洗裝置，所述清洗裝置包括清洗槽和腔體，所述腔體環設在清洗槽外側，所述腔體上設置有豎直缺口，在缺口處配合設置有軟簾，所述腔體的側壁設置有進液口，所述清洗槽的底部設置有排液口，所述腔體的高度高于清洗槽的高度。

本發明所述清洗槽的尺寸與10代線掩膜版箱子的尺寸配合，所述清洗槽在清洗過程中用于放置箱體和清洗液，將箱體浸沒在清洗液中，通過設置軟簾便于將箱子放入清洗槽內，所述腔體的設置一方面在浸泡洗和沖洗過程中對液體進行阻擋，避免液體飛濺，同時，便于設置進液口，利于清洗液導入清洗槽內，清洗后的污水由排液口排放。

本發明的清洗過程為：

將掩膜版箱子放進清洗槽內，用泵抽取堿液到清洗槽，使堿液沒過箱子，浸泡約5分鐘后將堿液排掉；然后用水槍對箱子的各個部位進行沖洗，約3分鐘；用泵抽取表面活性劑液到清洗槽內，使活性劑液沒過箱子，浸泡約分鐘后將液體排掉；用水槍對箱子的各個部位進行沖洗。

本發明通過設置清洗槽和腔體，在清洗槽內實現對箱子的浸泡洗和沖洗，避免人工清洗因手臂不夠長帶來的擦拭困難、避免人工擦拭中，身體上的灰塵掉落重新污染箱子的可能、避免了有機溶劑酒精等對透明有機材料的箱子表面造成的損傷，同時腔體對液體進行阻擋，避免液體飛濺，如此，本發明實現了對10代線掩膜版箱子的清洗，解決了人工清洗導致清洗不全面、二次污染和箱體表面受損的問題。

優選地，所述清洗槽和腔體采用不銹鋼制成。

進一步地，清洗槽為矩形槽，所述腔體為包括3個側面的U形結構，在U形結構的2個側壁之間設置軟簾，所述腔體的3個側面緊貼清洗槽的3個側壁設置。