[發明專利]10代線掩膜版箱子清洗系統及清洗方法

在審

• 申請號: 201811596039.9
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109482591A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 林偉;呂振群
• 申請（專利權）人: 成都路維光電有限公司
• 主分類號: B08B9/08
• 分類號: B08B9/08;B08B9/093
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

1.10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，包括清洗裝置，所述清洗裝置包括清洗槽(2)和腔體(1)，所述腔體(1)環設在清洗槽(2)外側，所述腔體(1)上設置有豎直缺口，在缺口處配合設置有軟簾(3)，所述腔體(1)的側壁設置有進液口(11)，所述清洗槽(2)的底部設置有排液口(21)，所述腔體(1)的高度高于清洗槽(2)的高度。

2.根據權利要求1所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述清洗槽(2)為矩形槽，所述腔體(1)為包括3個側面的U形結構，在U形結構的2個側壁之間設置軟簾(3)，所述腔體(1)的3個側面緊貼清洗槽(2)的3個側壁設置。

3.根據權利要求2所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述清洗槽(2)的長和寬均為2.8-3.2米，所述清洗槽(2)的高度為40-50厘米，所述腔體(1)的高度為1.8-2.1米。

4.根據權利要求1所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述清洗槽(2)的外壁設置有固定板(6)，所述腔體(1)的底部可拆卸式嵌入固定板(6)的上端面。

5.根據權利要求1所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述腔體(1)和清洗槽(2)之間設置有硅膠墊(5)。

6.根據權利要求1所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述腔體(1)的缺口上部設置有橫桿(4)，所述軟簾(3)的上端設置有套筒(31)，所述套筒(31)套設在橫桿(4)上。

7.根據權利要求1所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，還包括排污機構，所述排污機構包括設置在地面上的排污槽(8)，所述清洗裝置設置在排污槽(8)上方。

8.根據權利要求7所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述排污槽(8)為弧形槽。

9.根據權利要求7所述的10代線掩膜版箱子清洗系統，其特征在于，所述排污機構包括設置在地面上的限位結構(7)，所述限位結構(7)為U形結構，設置在清洗裝置外側，每個清洗裝置外側對稱設置有2個限位結構(7)。

10.基于權利要求1-9任一項所述10代線掩膜版箱子清洗系統的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)、將掩膜版箱子放入清洗槽(2)內，用泵抽取堿液到清洗槽(2)，使堿液沒過箱子，浸泡5分鐘后將堿液排掉；

2)、用水槍對箱子的各個部位進行沖洗，3分鐘；

3)、用泵抽取表面活性劑液到清洗槽(2)內，使活性劑液沒過箱子，浸泡5分鐘后將液體排掉；

4)、用水槍對箱子的各個部位進行沖洗，5分鐘；

5)、將箱子取出放入烘干箱中進行烘干，2個小時后烘干完成，箱子取出備用。