[發(fā)明專(zhuān)利]一種多晶硅片生產(chǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811595887.8
• 申請(qǐng)日: 2018-12-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109731819B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧雨彤;林繼承;吳國(guó)秋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中環(huán)艾能（高郵）能源科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B1/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B1/02;B08B3/04;B08B3/10;F26B5/16;B08B1/00
• 代理公司: 廣州天河萬(wàn)研知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44418
• 代理人: 劉強(qiáng);陳軒

1.一種多晶硅片生產(chǎn)裝置，其特征在于：包括支撐臺(tái)（1）、儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)（2）、清洗機(jī)構(gòu)（3）、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4）、除雜機(jī)構(gòu)（5）、固定機(jī)構(gòu)（6）和接水盤(pán)（7）；所述支撐臺(tái)（1）的頂面安裝所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)（2），所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)（2）的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述清洗機(jī)構(gòu)（3）；所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)（2）的側(cè)壁安裝所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4），且所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4）與所述清洗機(jī)構(gòu)（3 ）轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述支撐臺(tái)（1）的頂面一端固定連接所述固定機(jī)構(gòu)（6），且所述固定機(jī)構(gòu)（6）的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述除雜機(jī)構(gòu)（5）；所述支撐臺(tái)（1）的頂面安裝所述接水盤(pán)（7），且所述接水盤(pán)（7）的兩端抵觸所述固定機(jī)構(gòu)（6），所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)（2）包括閥門(mén)（21）和箱體（22），所述箱體（22）固定于所述支撐臺(tái)（1）頂面的一端，所述箱體（22）的底端呈漏斗形，且所述箱體（22）的底端側(cè)壁安裝所述閥門(mén)（21），所述清洗機(jī)構(gòu)（3）包括毛刷（31）、轉(zhuǎn)軸（32）和濾網(wǎng)（33），所述箱體（22）的內(nèi)部安裝多個(gè)所述濾網(wǎng)（33），相鄰的所述濾網(wǎng)（33）之間安裝所述轉(zhuǎn)軸（32），且所述轉(zhuǎn)軸（32）與所述箱體（22）的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述轉(zhuǎn)軸（32）的側(cè)壁等距安裝所述毛刷（31），所述毛刷（31）與所述濾網(wǎng)（33）的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且所述轉(zhuǎn)軸（32）的最頂端與所述濾網(wǎng)（33）的頂面齊平，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（4）包括固定板（41）、電機(jī)（42）和齒輪（43），所述箱體（22）的側(cè)壁固定連接所述固定板（41），中空所述固定板（41）的側(cè)壁安裝所述電機(jī)（42），所述固定板（41）的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接多個(gè)所述齒輪（43），且相鄰所述齒輪（43）之間相互嚙合；所述電機(jī)（42）轉(zhuǎn)動(dòng)連接其中一個(gè)所述齒輪（43），且所述齒輪（43）的一端固定連接所述轉(zhuǎn)軸（32），所述固定機(jī)構(gòu)（6）包括螺桿（61）、支撐板（62）、滾輪（63）和連接桿（64），所述支撐臺(tái)（1）頂面的另一端對(duì)稱(chēng)安裝所述支撐板（62），所述支撐板（62）的側(cè)壁對(duì)稱(chēng)與所述螺桿（61）之間螺紋連接；側(cè)壁為“T”形的所述螺桿（61）的一端固定連接所述連接桿（64），且所述連接桿（64）的側(cè)壁等距轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滾輪（63），所述除雜機(jī)構(gòu)（5）包括滾軸（51）和海綿墊（52），兩塊所述支撐板（62）之間等距轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滾軸（51），所述滾軸（51）的側(cè)壁套裝所述海綿墊（52）；多個(gè)所述連接桿（64）和所述滾輪（63）分別伸入所述滾軸（51）的兩端內(nèi)部，且所述連接桿（64）和所述滾輪（63）與所述滾軸（51）的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述接水盤(pán)（7）位于兩個(gè)所述支撐板（62）之間，且所述接水盤(pán)（7）的寬度大于所述滾軸（51）的直徑。