[發(fā)明專(zhuān)利]一種多晶硅片生產(chǎn)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811595887.8 | 申請(qǐng)日: | 2018-12-26 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109731819B | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-07-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 顧雨彤;林繼承;吳國(guó)秋 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中環(huán)艾能(高郵)能源科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | B08B1/02 | 分類(lèi)號(hào): | B08B1/02;B08B3/04;B08B3/10;F26B5/16;B08B1/00 |
| 代理公司: | 廣州天河萬(wàn)研知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44418 | 代理人: | 劉強(qiáng);陳軒 |
| 地址: | 225600 江蘇省揚(yáng)州市*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 多晶 硅片 生產(chǎn) 裝置 | ||
1.一種多晶硅片生產(chǎn)裝置,其特征在于:包括支撐臺(tái)(1)、儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)(2)、清洗機(jī)構(gòu)(3)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)、除雜機(jī)構(gòu)(5)、固定機(jī)構(gòu)(6)和接水盤(pán)(7);所述支撐臺(tái)(1)的頂面安裝所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)(2),所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)(2)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述清洗機(jī)構(gòu)(3);所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)(2)的側(cè)壁安裝所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4),且所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)與所述清洗機(jī)構(gòu)(3 )轉(zhuǎn)動(dòng)連接;所述支撐臺(tái)(1)的頂面一端固定連接所述固定機(jī)構(gòu)(6),且所述固定機(jī)構(gòu)(6)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述除雜機(jī)構(gòu)(5);所述支撐臺(tái)(1)的頂面安裝所述接水盤(pán)(7),且所述接水盤(pán)(7)的兩端抵觸所述固定機(jī)構(gòu)(6),所述儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)(2)包括閥門(mén)(21)和箱體(22),所述箱體(22)固定于所述支撐臺(tái)(1)頂面的一端,所述箱體(22)的底端呈漏斗形,且所述箱體(22)的底端側(cè)壁安裝所述閥門(mén)(21),所述清洗機(jī)構(gòu)(3)包括毛刷(31)、轉(zhuǎn)軸(32)和濾網(wǎng)(33),所述箱體(22)的內(nèi)部安裝多個(gè)所述濾網(wǎng)(33),相鄰的所述濾網(wǎng)(33)之間安裝所述轉(zhuǎn)軸(32),且所述轉(zhuǎn)軸(32)與所述箱體(22)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接;所述轉(zhuǎn)軸(32)的側(cè)壁等距安裝所述毛刷(31),所述毛刷(31)與所述濾網(wǎng)(33)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,且所述轉(zhuǎn)軸(32)的最頂端與所述濾網(wǎng)(33)的頂面齊平,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)包括固定板(41)、電機(jī)(42)和齒輪(43),所述箱體(22)的側(cè)壁固定連接所述固定板(41),中空所述固定板(41)的側(cè)壁安裝所述電機(jī)(42),所述固定板(41)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接多個(gè)所述齒輪(43),且相鄰所述齒輪(43)之間相互嚙合;所述電機(jī)(42)轉(zhuǎn)動(dòng)連接其中一個(gè)所述齒輪(43),且所述齒輪(43)的一端固定連接所述轉(zhuǎn)軸(32),所述固定機(jī)構(gòu)(6)包括螺桿(61)、支撐板(62)、滾輪(63)和連接桿(64),所述支撐臺(tái)(1)頂面的另一端對(duì)稱(chēng)安裝所述支撐板(62),所述支撐板(62)的側(cè)壁對(duì)稱(chēng)與所述螺桿(61)之間螺紋連接;側(cè)壁為“T”形的所述螺桿(61)的一端固定連接所述連接桿(64),且所述連接桿(64)的側(cè)壁等距轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滾輪(63),所述除雜機(jī)構(gòu)(5)包括滾軸(51)和海綿墊(52),兩塊所述支撐板(62)之間等距轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滾軸(51),所述滾軸(51)的側(cè)壁套裝所述海綿墊(52);多個(gè)所述連接桿(64)和所述滾輪(63)分別伸入所述滾軸(51)的兩端內(nèi)部,且所述連接桿(64)和所述滾輪(63)與所述滾軸(51)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述接水盤(pán)(7)位于兩個(gè)所述支撐板(62)之間,且所述接水盤(pán)(7)的寬度大于所述滾軸(51)的直徑。
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