[發明專利]一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器

在審

• 申請號: 201811595330.4
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109514434A
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 王永成
• 申請（專利權）人: 上海致領半導體科技發展有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，包括修整器本體、修整丸片以及連接件，修整器本體的圓周方向設有若干放置孔，修整丸片的側壁下方設有外螺紋，連接件包括套管、環形凸臺以及彈性腳片。本發明提供的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，可根據工藝需求將修整丸片可選擇的放置在放置孔內，進而對拋光墊進行修整，可實現多種拋光面型的修整，減少不同規格的修整器投入，有效控制成本。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，具體地講，本發明涉及一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器。

背景技術

在半導體硅片以及部分光電材料的單面拋光制程中，為了維持拋光墊的平整度、拋光效率和使用壽命，需要使用拋光墊修整器定期對拋光墊進行修整；傳統的拋光墊修整器是使用固定修整面積和形狀的修整器，如如圖1所示的整體式的修整器或如圖2所示的組裝式的修整器，這些傳統的拋光墊修整器只能將拋光墊修整出一個固定的面型，這些固定的面型往往并不能達到晶片拋光精度的最佳狀態，由于修整器的結構導致的拋光墊面型不能調整，使得拋光工藝的靈活性收到了很大的制約，也影響了產品的加工精度。

發明內容

為了解決現有技術的問題，本發明提供了一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，可根據需要調節拋光墊面型，提高拋光精度。

本發明專利提供了一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，包括修整器本體、修整丸片以及連接件，所述修整器本體的圓周方向設有若干放置孔，所述修整丸片的側壁下方設有外螺紋，所述連接件包括套管、環形凸臺以及彈性腳片，所述套管的內壁具有若干用于連接修整器本體的內螺紋，所述套管的上邊緣具有一環形凸臺，所述環形凸臺用于卡扣在所述修整器本體的上表面，所述套管的下邊緣具有彈性腳片，所述彈性腳片的端部具有鉤部，所述鉤部用于抵靠所述修整器本體的下表面。

優選的，所述套管與彈性腳片的高度與所述修整器本體的厚度一致。

優選的，所述放置孔在所述修整器本體的圓周方向上均勻分布。

優選的，所述套管與所述修整丸片螺紋連接。

優選的，所述放置孔的數量大于所述修整丸片的數量。

優選的，所述彈性腳片為金屬材料。

優選的，所述放置孔的內徑與所述套管的外徑一致。

本發明提供的技術方案帶來的有益效果是：

1、本發明提供的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，可根據工藝需求將修整丸片可選擇的放置在放置孔內，進而對拋光墊進行修整，可實現多種拋光面型的修整，減少不同規格的修整器投入，有效控制成本；

2、本發明將修整丸片可拆卸的安裝在放置孔內，拆卸安裝便捷，便于調整修正盤上修整丸片的分布區域。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明專利中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是傳統整體式修整器的結構示意圖；

圖2是傳統組裝式修整器的結構示意圖；

圖3是本發明中可調節拋光墊面型的拋光墊修整器的結構示意圖；

圖4是本發明中連接件的結構示意圖。

具體實施方式