[發明專利]一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器在審

申請號：	201811595330.4	申請日：	2018-12-25
公開（公告）號：	CN109514434A	公開（公告）日：	2019-03-26
發明（設計）人：	王永成	申請（專利權）人：	上海致領半導體科技發展有限公司
主分類號：	B24B53/017	分類號：	B24B53/017
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	201319 上海市浦東新區***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	修整拋光墊面型拋光墊修整器可調節丸片修整器本體放置孔連接件有效控制成本工藝需求環形凸臺拋光外螺紋修整器套管側壁腳片
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【權利要求書】：

1.一種可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，包括修整器本體、修整丸片以及連接件，所述修整器本體的圓周方向設有若干放置孔，所述修整丸片的側壁下方設有外螺紋，所述連接件包括套管、環形凸臺以及彈性腳片，所述套管的內壁具有若干用于連接修整器本體的內螺紋，所述套管的上邊緣具有一環形凸臺，所述環形凸臺用于卡扣在所述修整器本體的上表面，所述套管的下邊緣具有彈性腳片，所述彈性腳片的端部具有鉤部，所述鉤部用于抵靠所述修整器本體的下表面。

2.根據權利要求1所述的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，所述套管與彈性腳片的高度與所述修整器本體的厚度一致。

3.根據權利要求1所述的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，所述放置孔在所述修整器本體的圓周方向上均勻分布。

4.根據權利要求1所述的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，所述套管與所述修整丸片螺紋連接。

5.根據權利要求1所述的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，所述放置孔的數量大于所述修整丸片的數量。

6.根據權利要求1所述的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，所述彈性腳片為金屬材料。

7.根據權利要求1所述的可調節拋光墊面型的拋光墊修整器，其特征在于，所述放置孔的內徑與所述套管的外徑一致。

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