[發明專利]納米機器人制作工藝

有效

• 申請號: 201811593005.4
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN111347461B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發明（設計）人: 孫一綺;楊志
• 申請（專利權）人: 湖南早晨納米機器人有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00;B25J7/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李海建

本發明公開了一種納米機器人制作工藝，包括步驟：研磨清洗玻璃基板；涂低溫解凍膠；沉積；涂熱敏耐酸膠；熱敏直寫；酸蝕；清洗；剝離。本發明提供的納米機器人制作工藝，利用熱敏直寫機加工得到尺寸小于500nm的納米機器人，利用酸蝕和低溫解凍的方法實現了將納米機器人順利從玻璃基板上剝離的目的。

技術領域

本發明涉及納米機器人技術領域，尤其涉及一種納米機器人制作工藝。

背景技術

納米機器人廣泛應用于科學實驗、精密手術、精密加工制造等技術領域，納米機器人的尺寸為納米級別，因此，在現有納米機器人的加工制作工藝中，由于工藝設計存在缺陷等原因，導致很難將納米機器人從加工基體上剝離下來，操作難度大，效率極低。

因此，如何將納米機器人順利地從加工基體上剝離，是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種納米機器人制作工藝，該制作工藝可以加工制作尺寸小于500nm的納米機器人，并能夠將納米機器人順利地從玻璃基板上剝離下來。

為了實現上述目的，本發明提供了如下技術方案：

一種納米機器人制作工藝，包括以下步驟：

研磨清洗玻璃基板，使玻璃基板的表面粗糙度小于預設值；

涂低溫解凍膠，在玻璃基板表面均勻涂上低溫解凍膠；

沉積，在低溫解凍膠表面沉積一層厚度小于50nm的鐵磁性材料；

涂熱敏耐酸膠，在鐵磁性材料的表面均勻涂上熱敏耐酸膠；

熱敏直寫，使用計算機預設納米機器人圖案，每個納米機器人圖案的長度和寬度分別小于500nm，計算機控制熱敏直寫機在熱敏耐酸膠表面作業，并保留覆蓋保護納米機器人圖案的熱敏耐酸膠；

酸蝕，使用酸液酸蝕已暴露的鐵磁性材料；

清洗，對整張玻璃基板以及保留的納米機器人圖案對應的鐵磁性材料進行清洗；

剝離，將玻璃基板表面的低溫解凍膠解凍，將納米機器人圖案對應的鐵磁性材料從玻璃基板上剝離以得到納米機器人。

本發明提供的納米機器人制作工藝，利用熱敏直寫機加工得到尺寸小于500nm的納米機器人，利用酸蝕和低溫解凍的方法實現了將納米機器人順利從玻璃基板上剝離的目的。

優選地，所述鐵磁性材料為四氧化三鐵。

優選地，在涂低溫解凍膠步驟中，使用等離子電槳噴機在玻璃基板表面均勻涂上低溫解凍膠；在涂熱敏耐酸膠步驟中，使用等離子電槳噴機在鐵磁性材料的表面均勻涂上熱敏耐酸膠。

優選地，在沉積步驟中，使用真空蒸發機在低溫解凍膠表面沉積一層厚度小于50nm的鐵磁性材料。

優選地，所述酸液包含鹽酸、硝酸和水。

優選地，在清洗步驟和剝離步驟之間，還包括以下步驟：

烘干，對整張玻璃基板以及保留的納米機器人圖案對應的鐵磁性材料進行烘干。

優選地，在研磨清洗玻璃基板步驟中，使玻璃基板的表面粗糙度小于

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明具體實施例中的納米機器人制作工藝的流程圖。

具體實施方式