[發明專利]納米機器人制作工藝有效
| 申請號： | 201811593005.4 | 申請日： | 2018-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN111347461B | 公開（公告）日： | 2022-03-25 |
| 發明（設計）人： | 孫一綺;楊志 | 申請（專利權）人： | 湖南早晨納米機器人有限公司 |
| 主分類號： | B25J19/00 | 分類號： | B25J19/00;B25J7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 410300 湖南省長沙市瀏陽經*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 機器人 制作 工藝 | ||
1.納米機器人制作工藝，其特征在于，包括以下步驟：
研磨清洗玻璃基板，使玻璃基板的表面粗糙度小于預設值；
涂低溫解凍膠，在玻璃基板表面均勻涂上低溫解凍膠；
沉積，在低溫解凍膠表面沉積一層厚度小于50nm的鐵磁性材料；
涂熱敏耐酸膠，在鐵磁性材料的表面均勻涂上熱敏耐酸膠；
熱敏直寫，使用計算機預設納米機器人圖案，每個納米機器人圖案的長度和寬度分別小于500nm，計算機控制熱敏直寫機在熱敏耐酸膠表面作業，并保留覆蓋保護納米機器人圖案的熱敏耐酸膠；
酸蝕，使用酸液酸蝕已暴露的鐵磁性材料；
清洗，對整張玻璃基板以及保留的納米機器人圖案對應的鐵磁性材料進行清洗；
剝離，將玻璃基板表面的低溫解凍膠解凍，將納米機器人圖案對應的鐵磁性材料從玻璃基板上剝離以得到納米機器人。
2.根據權利要求1所述的納米機器人制作工藝，其特征在于，所述鐵磁性材料為四氧化三鐵。
3.根據權利要求1所述的納米機器人制作工藝，其特征在于，在涂低溫解凍膠步驟中，使用等離子電槳噴機在玻璃基板表面均勻涂上低溫解凍膠；在涂熱敏耐酸膠步驟中，使用等離子電槳噴機在鐵磁性材料的表面均勻涂上熱敏耐酸膠。
4.根據權利要求1所述的納米機器人制作工藝，其特征在于，在沉積步驟中，使用真空蒸發機在低溫解凍膠表面沉積一層厚度小于50nm的鐵磁性材料。
5.根據權利要求1所述的納米機器人制作工藝，其特征在于，所述酸液包含鹽酸、硝酸和水。
6.根據權利要求1所述的納米機器人制作工藝，其特征在于，在清洗步驟和剝離步驟之間，還包括以下步驟：
烘干，對整張玻璃基板以及保留的納米機器人圖案對應的鐵磁性材料進行烘干。
7.根據權利要求1所述的納米機器人制作工藝，其特征在于，在研磨清洗玻璃基板步驟中，使玻璃基板的表面粗糙度小于
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