[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于傳感器加速壽命試驗(yàn)的真空校準(zhǔn)裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811592448.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109682535B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉寶偉;陳寶成;呂穎;李紹凱;宗義仲;駱文鵬;姜曉龍;孫志成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01L27/00
• 分類(lèi)號(hào): G01L27/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 牟永林

一種用于傳感器加速壽命試驗(yàn)的真空校準(zhǔn)裝置及方法，它涉及真空壓力傳感器測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，它包括真空泵組、真空艙、真空計(jì)、集氣瓶、減壓閥及調(diào)節(jié)閥；真空艙二和真空艙四之間布置有與二者連通的真空艙三，真空艙一、真空艙二和真空艙三上分別安裝有一個(gè)真空計(jì)；真空艙三與集氣瓶連接且二者連接的管路上安裝有減壓閥、調(diào)節(jié)閥八和調(diào)節(jié)閥九；真空泵組與真空艙一之間、真空艙一與真空艙二之間、真空艙二與真空艙三之間、真空艙三與真空艙四之間分別設(shè)置有調(diào)節(jié)閥一、調(diào)節(jié)閥四、調(diào)節(jié)閥六和調(diào)節(jié)閥七。校準(zhǔn)方法包括：一、抽真空；二、被測(cè)傳感器加壓循環(huán)測(cè)試。本發(fā)明用以對(duì)傳感器進(jìn)行加速壽命試驗(yàn)，能實(shí)現(xiàn)提高傳感器可靠性和穩(wěn)定性的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空壓力傳感器測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于傳感器加速壽命試驗(yàn)的真空校準(zhǔn)裝置及方法。

背景技術(shù)

隨著真空技術(shù)的發(fā)展，真空系統(tǒng)在許多領(lǐng)域都得到了應(yīng)用，在航空、航天、微電子、冶金信息和生物等高新科技中發(fā)揮了巨大的作用，而且真空技術(shù)已在科研、生產(chǎn)領(lǐng)域滲到人們的日常生活中。

真空技術(shù)主要包括真空的獲得和真空度的測(cè)量?jī)蓚€(gè)方面。真空的獲得，即真空的產(chǎn)生和保持，它一般由真空泵等機(jī)械設(shè)備實(shí)現(xiàn)。而準(zhǔn)確測(cè)量真空度、控制真空度對(duì)生產(chǎn)、生活、科學(xué)研究有著重要影響，對(duì)實(shí)驗(yàn)的成敗和真空產(chǎn)品的質(zhì)量都起到關(guān)鍵的作用。真空度的測(cè)量，主要由傳感器及其相應(yīng)部件組成的真空測(cè)量設(shè)備完成，真空壓力傳感器是測(cè)試設(shè)備中的關(guān)鍵元器件，決定著測(cè)量系統(tǒng)的精度和準(zhǔn)確度。

但是，國(guó)內(nèi)真空壓力傳感器產(chǎn)品的可靠性、穩(wěn)定性及一致性等與發(fā)達(dá)國(guó)家存在較大差距，缺乏系統(tǒng)性的可靠性研究工作。高可靠性傳感器的技術(shù)水平、傳感器可靠性研究和試驗(yàn)工作相對(duì)落后于國(guó)外的進(jìn)程，且高可靠性產(chǎn)品類(lèi)別單一、品種少，量產(chǎn)能力也存在很大差距。所以，盡快掌握開(kāi)發(fā)具有高可靠傳感器技術(shù)和產(chǎn)品是具有實(shí)際意義的一項(xiàng)重要任務(wù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為克服現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種用于傳感器加速壽命試驗(yàn)的真空校準(zhǔn)裝置及方法，用以對(duì)傳感器進(jìn)行加速壽命試驗(yàn)，該裝置可以實(shí)現(xiàn)加速應(yīng)力和加速失效時(shí)間兩種加速方法，從而達(dá)到對(duì)真空壓力傳感器的使用壽命等可靠性指標(biāo)的預(yù)測(cè)，實(shí)現(xiàn)提高傳感器可靠性、穩(wěn)定性等的目的。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種用于傳感器加速壽命試驗(yàn)的真空校準(zhǔn)裝置包括真空泵組、真空艙、真空計(jì)、集氣瓶、減壓閥及調(diào)節(jié)閥；

所述真空艙分別為真空艙二、真空艙三、真空艙四和用于校準(zhǔn)的真空艙一；

真空泵組分別與真空艙一和真空艙二連接，真空艙二和真空艙四之間布置有與二者連通的真空艙三，真空艙一、真空艙二、真空艙三和真空艙四串接在一起，真空艙一、真空艙二和真空艙三上分別安裝有一個(gè)真空計(jì)；調(diào)節(jié)閥分別為調(diào)節(jié)閥一、調(diào)節(jié)閥二、調(diào)節(jié)閥三、調(diào)節(jié)閥四、調(diào)節(jié)閥五、調(diào)節(jié)閥六、調(diào)節(jié)閥七、調(diào)節(jié)閥八、調(diào)節(jié)閥九和調(diào)節(jié)閥十；

真空艙三與集氣瓶連接且二者連接的管路上安裝有減壓閥、調(diào)節(jié)閥八和調(diào)節(jié)閥九；真空艙三和集氣瓶經(jīng)調(diào)節(jié)閥八與大氣相同；真空艙一上設(shè)置有調(diào)節(jié)閥二；真空泵組與真空艙一之間、真空艙一與真空艙二之間、真空艙二與真空艙三之間、真空艙三與真空艙四之間分別設(shè)置有調(diào)節(jié)閥一、調(diào)節(jié)閥四、調(diào)節(jié)閥六和調(diào)節(jié)閥七；真空艙一與真空艙二之間設(shè)置有調(diào)節(jié)閥三和調(diào)節(jié)閥十，被測(cè)傳感器與真空艙二之間設(shè)置有調(diào)節(jié)閥五；被測(cè)傳感器和三個(gè)真空計(jì)的信號(hào)輸出端分別與顯示面板的信號(hào)輸入端連接。

進(jìn)一步地，所述真空計(jì)為電容式薄膜真空計(jì)。

進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)閥為金屬調(diào)節(jié)閥。

根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于傳感器加速壽命試驗(yàn)的真空校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)方法；

包括以下步驟：

步驟一：關(guān)閉集氣瓶前的調(diào)節(jié)閥九，并關(guān)閉管路中與大氣相通的調(diào)節(jié)閥二和調(diào)節(jié)閥八，其余調(diào)節(jié)閥處于打開(kāi)的狀態(tài)；