[發明專利]一種用于傳感器加速壽命試驗的真空校準裝置及方法

有效

• 申請號: 201811592448.1
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109682535B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 劉寶偉;陳寶成;呂穎;李紹凱;宗義仲;駱文鵬;姜曉龍;孫志成
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十九研究所
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 牟永林

1.一種用于傳感器加速壽命試驗的真空校準裝置的校準方法，其特征在于：所述真空校準裝置包括真空泵組（1）、真空艙、真空計（3）、集氣瓶（4）、減壓閥（5）及調節閥；

所述真空艙分別為真空艙二（22）、真空艙三（23）、真空艙四（24）和用于校準的真空艙一（21）；

真空泵組（1）分別與真空艙一（21）和真空艙二（22）連接，真空艙二（22）和真空艙四（24）之間布置有與二者連通的真空艙三（23），真空艙一（21）、真空艙二（22）、真空艙三（23）和真空艙四（24）串接在一起，真空艙一（21）、真空艙二（22）和真空艙三（23）上分別安裝有一個真空計（3）；

調節閥分別為調節閥一（K1）、調節閥二（K2）、調節閥三（K3）、調節閥四（K4）、調節閥五（K5）、調節閥六（K6）、調節閥七（K7）、調節閥八（K8）、調節閥九（K9）和調節閥十（K10）；

真空艙三（23）與集氣瓶（4）連接且二者連接的管路上安裝有減壓閥（5）、調節閥八（K8）和調節閥九（K9）；真空艙三（23）和集氣瓶（4）經調節閥八（K8）與大氣相同；真空艙一（21）上設置有調節閥二（K2）；

真空泵組（1）與真空艙一（21）之間、真空艙一（21）與真空艙二（22）之間、真空艙二（22）與真空艙三（23）之間、真空艙三（23）與真空艙四（24）之間分別設置有調節閥一（K1）、調節閥四（K4）、調節閥六（K6）和調節閥七（K7）；真空艙一（21）與真空艙二（22）之間設置有調節閥三（K3）和調節閥十（K10），被測傳感器（8）與真空艙二（22）之間設置有調節閥五（K5）；被測傳感器（8）和三個真空計（3）的信號輸出端分別與顯示面板的信號輸入端連接；

所述校準方法包括以下步驟：

步驟一：關閉調節閥二（K2）、調節閥八（K8）、調節閥九（K9），其余調節閥處于打開狀態，形成封閉的密封腔，然后打開真空泵組（1），對該密封腔進行抽真空，經過真空泵組（1）抽真空后，密封腔內的壓力為0Pa；

步驟二：判斷密封腔內的壓力是否為0Pa，同時檢驗標準三個真空計（3），確保該三個標準的真空計（3）的示數一致且穩定；當未達到預期壓力時，繼續用真空泵組（1）進行抽真空，直至滿足要求；

步驟三：待上一步驟滿足要求后，關閉調節閥一（K1）、調節閥三（K3）和調節閥四（K4），檢驗被測傳感器（8）的示數，是否滿足產品的性能指標；當不滿足時，首先排除是否為被測傳感器（8）本身的問題，當不是被測傳感器（8）本身問題時，重新開始步驟一，直到本步驟中的被測傳感器（8）滿足其性能指標的要求；

步驟四：關閉調節閥六（K6）和調節閥七（K7），打開調節閥八（K8），使真空艙三（23）內充滿大氣，其壓力值為大氣壓力101350Pa， 檢驗與該真空艙三（23）連接的標準的真空計（3）的示數是否為當地大氣壓；

步驟五：當步驟四中標準的真空計（3）的示數穩定在當地大氣壓時，關閉調節閥八（K8），打開調節閥七（K7），則1升氣體充滿1升的真空艙三（23）和9升的真空艙四（24）；根據波義爾-馬略特定律，則由1升的真空艙三（23）和9升的真空艙四（24）組成的子系統中的壓力值為當地大氣壓力的1/10；檢驗此時連接的標準的真空計（3）的示數，是否為步驟四中示數的1/10；

步驟六：待上述標準的真空計（3）的示數穩定后，打開調節閥六（K6），關閉調節閥七（K7），1升中的氣體充滿真空艙三（23）和真空艙二（22）；此時，由真空艙三（23）和真空艙二（22）組成的子系統中的壓力值為當地大氣壓力的1/1000，即101.350Pa；檢驗此時兩個標準的真空計（3）的示數，是否為步驟四中示數的1/1000；

步驟七：待兩個標準的真空計（3）的示數穩定后，采集被測傳感器（8）的示數，并判斷是否出現失效，至此，被測傳感器（8）的一個加壓循環完成，然后除50升的真空艙一（21）外，將整個裝置進行通大氣，進行下一次的加壓循環，所述真空計（3）為電容式薄膜真空計。

2.根據權利要求1所述一種用于傳感器加速壽命試驗的真空校準裝置的校準方法，其特征在于：所述調節閥為金屬調節閥。

3.根據權利要求2所述一種用于傳感器加速壽命試驗的真空校準裝置的校準方法，其特征在于：所述真空艙二（22）、真空艙三（23）和真空艙四（24）的體積總和至少是氣路管總體積的20倍。

4.根據權利要求3所述一種用于傳感器加速壽命試驗的真空校準裝置的校準方法，其特征在于：所述真空泵組（1）主要由若干個分子泵和羅茨泵串聯組成。