[發(fā)明專利]電鍍裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811592104.0 | 申請日： | 2018-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN110184639B | 公開（公告）日： | 2022-07-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 社本光弘;中田勉;下山正 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | C25D17/12 | 分類號： | C25D17/12;C25D17/06 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人： | 楊貝貝;臧建明 |
| 地址： | 日本東京大*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電鍍 裝置 | ||
1.一種電鍍裝置，其特征在于包括：
陽極固持器，以保持陽極的方式而構(gòu)成；
基板固持器，以保持四邊形基板的方式而構(gòu)成；以及
調(diào)節(jié)板，設(shè)置在所述陽極固持器與所述基板固持器之間；并且
所述調(diào)節(jié)板包括具有遵循所述四邊形基板的外形的第一四邊形開口的本體部、以及從所述第一四邊形開口的邊緣向所述基板固持器側(cè)突出的壁部，
所述壁部包含第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述壁部是在包含所述第一四邊形開口的邊的中央部的所述第一區(qū)域內(nèi)朝向所述基板固持器側(cè)跨第一距離而突出，
所述壁部是在包含所述第一四邊形開口的角部的所述第二區(qū)域內(nèi)被切缺，或者在所述第二區(qū)域內(nèi)朝向所述基板固持器側(cè)跨小于所述第一距離的第二距離而突出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍裝置，其特征在于，所述壁部的所述第一區(qū)域是從與所述本體部的板面垂直的方向觀察外側(cè)的邊較長的梯形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電鍍裝置，其特征在于還包括：隔膜，以堵塞所述調(diào)節(jié)板的所述第一四邊形開口的方式而配置，容許金屬離子透過而阻礙添加劑透過。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電鍍裝置，其特征在于還包括：
陽極掩模，包括具有遵循所述四邊形基板的外形的第二四邊形開口的陽極掩模本體部、以及從所述第二四邊形開口的邊緣向所述基板固持器側(cè)突出的陽極掩模壁部，安裝在所述陽極固持器上；并且
所述陽極掩模壁部包含第三區(qū)域和第四區(qū)域，所述陽極掩模壁部是在包含所述第二四邊形開口的邊的中央部的所述第三區(qū)域內(nèi)朝向所述基板固持器側(cè)跨第三距離而突出，
所述陽極掩模壁部是在包含所述第二四邊形開口的角部的所述第四區(qū)域內(nèi)被切缺，或者在所述第四區(qū)域內(nèi)朝向所述基板固持器側(cè)跨小于所述第三距離的第四距離而突出。
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