[發明專利]一種電磁式檢測裝置、檢測方法及鍍膜系統

在審

• 申請號: 201811591621.6
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109612377A
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 徐義;荊鳴翔
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: G01B7/00
• 分類號: G01B7/00;C23C14/54
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 朱靜謙

本發明涉及設備檢測技術領域，具體涉及一種電磁式檢測裝置、檢測方法及鍍膜系統。其中，電磁式檢測裝置包括，用于承載被傳送物體并具有導磁性的載具；在傳輸方向運送所述載具的傳輸裝置；設置在所述傳輸裝置的傳輸路徑上的電磁線圈，并可供載具和所述被傳送物體穿過；用于檢測所述載具穿過電磁線圈時產生磁場強度的傳感器；與磁場強度傳感器連接的處理器，其用于根據所述磁場強度傳感器檢測到的磁場強度的大小確定所述載具的位置信息。采用磁場強度信號的方式來監測被檢測部件的位置信號，相比較傳統手段非常難被損壞，磁場強度式監測不易受鍍膜腔室大量粉塵的影響，信號穩定，維護簡單。

技術領域

本發明涉及設備檢測技術領域，具體涉及一種電磁式檢測裝置、檢測方法及鍍膜系統。

背景技術

CIGS太陽能電池薄膜，由Cu(銅)、In(銦)、Ga(鎵)、Se(硒)四種元素構成最佳比例的黃銅礦結晶太陽能電池薄膜，其可采用共蒸發系統進行進行制備。其具有光吸收能力強，發電穩定性好、轉化效率高，白天發電時間長、發電量高、生產成本低以及能源回收周期短等優點。

現有的CIGS鍍膜系統一般采用交替濺射的方法或者共蒸發法制備銅銦鎵硒薄膜太陽能電池預置層。在鍍膜系統中為了獲取待鍍膜件(玻璃)的位置，現有技術中會采用光電傳感器進行檢測。而現有的光電傳感器組件通過石英棒傳輸光電信號，其存在以下缺陷：

1.石英棒在鍍膜腔室內容易受雜質干擾，雜質附著在石英棒表面容易干擾對射信號，隨著生產進行，石英棒末端逐漸被CIGS粉塵附著，透光率下降，造成信號不穩定甚至信號異常；

2.光電信號在鍍膜環境的影響，需要定期清理發生裝置；

3.石英結構容易受損，破碎后需要更換，產生大量備件。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題在于克服現有技術中光電傳感器組件的缺陷，從而提供電磁式檢測裝置、檢測方法及鍍膜系統。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案如下：

本發明提供了一種電磁式檢測裝置，包括：

載具，用于承載被傳送物體；所述載具具有導磁性；

傳輸裝置，其在傳輸方向運送所述載具；

電磁線圈，其設置在所述傳輸裝置的傳輸路徑上，并可供所述載具和所述被傳送物體穿過；

磁場強度傳感器，用于檢測所述載具穿過電磁線圈時產生的磁場強度；

處理器，與所述磁場強度傳感器連接，用于根據所述磁場強度傳感器檢測到的磁場強度的大小確定所述載具的位置信息。

上述電磁式檢測裝置中，所述電磁線圈由一根線材螺旋盤繞而成，且所述線材的兩端分別與直流電源連接。

上述電磁式檢測裝置中，所述電磁線圈的中部設有傳送通道，所述傳送通道的方向與所述傳輸裝置的傳輸方向一致，用于供所述載具和所述被傳送物體穿過。

上述電磁式檢測裝置中，所述磁場強度傳感器為磁通量傳感器。

上述電磁式檢測裝置中，所述載具中設有導磁材料，且所述載具在沿所述載具的傳輸方向上的不同的位置處的導磁性能不同。

上述電磁式檢測裝置中，所述載具包括：

縱梁，所述縱梁的長度方向平行于所述載具的傳輸方向，且所述縱梁的數量為多根，多根所述縱梁沿垂直于所述載具的傳輸方向的方向間隔設置；

橫梁，所述橫梁垂直于所述縱梁連接在多根所述縱梁之間，且所述導磁材料設于所述橫梁內。