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[發明專利]一種電磁式檢測裝置、檢測方法及鍍膜系統在審

專利信息
申請號: 201811591621.6 申請日: 2018-12-25
公開(公告)號: CN109612377A 公開(公告)日: 2019-04-12
發明(設計)人: 徐義;荊鳴翔 申請(專利權)人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
主分類號: G01B7/00 分類號: G01B7/00;C23C14/54
代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 代理人: 朱靜謙
地址: 100176 北京*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 電磁式檢測裝置 磁場 磁場強度傳感器 檢測 傳輸裝置 電磁線圈 鍍膜系統 載具 傳送 磁場強度信號 檢測技術領域 被檢測部件 傳輸方向 傳輸路徑 傳統手段 大小確定 鍍膜腔室 涉及設備 位置信號 物體穿過 信號穩定 導磁性 監測 傳感器 處理器 粉塵 承載 穿過 運送 維護
【權利要求書】:

1.一種電磁式檢測裝置,其特征在于,包括:

載具(3),用于承載被傳送物體;所述載具具有導磁性;

傳輸裝置(2),其在傳輸方向運送所述載具(3);

電磁線圈(51),其設置在所述傳輸裝置(2)的傳輸路徑上,并可供所述載具(3)和所述被傳送物體穿過;

磁場強度傳感器(61),用于檢測所述載具(3)穿過電磁線圈(51)時產生的磁場強度;

處理器(62),與所述磁場強度傳感器(61)連接,用于根據所述磁場強度傳感器(61)檢測到的磁場強度的大小確定所述載具(3)的位置信息。

2.根據權利要求1所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,所述電磁線圈(51)由一根線材螺旋盤繞而成,且所述線材的兩端分別與直流電源(52)連接。

3.根據權利要求2所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,所述電磁線圈的中部設有傳送通道,所述傳送通道的方向與所述傳輸裝置的傳輸方向一致,用于供所述載具(3)和所述被傳送物體穿過。

4.根據權利要求2所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,所述磁場強度傳感器為磁通量傳感器。

5.根據權利要求2所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,所述載具(3)中設有導磁材料,且所述載具(3)在沿所述載具(3)的傳輸方向上的不同的位置處的導磁性能不同。

6.根據權利要求5所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,所述載具(3)包括:

縱梁,所述縱梁的長度方向平行于所述載具的傳輸方向,且所述縱梁的數量為多根,多根所述縱梁沿垂直于所述載具的傳輸方向的方向間隔設置;

橫梁,所述橫梁垂直于所述縱梁連接在多根所述縱梁之間,且所述導磁材料設于所述橫梁內。

7.根據權利要求6所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,所述橫梁的數量為多根,多根所述橫梁沿所述載具的傳輸方向間隔設置,各根所述橫梁內的導磁材料相同。

8.根據權利要求7所述的電磁式檢測裝置,其特征在于,各根所述橫量內的導磁材料的重量不同。

9.一種鍍膜系統,其特征在于,包括如權利要求1-8中任一項所述的電磁式檢測裝置。

10.一種采用權利要求1-8中任一項所述的電磁式檢測裝置的檢測方法,其特征在于,包括:

接收所述磁場強度傳感器檢測的磁場強度信息;

根據預先存儲的磁場強度信息與載具的位置信息的關系,確定所述載具的實時位置信息。

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