[發(fā)明專利]太陽能單電池的制造方法和太陽能單電池

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811589712.6
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN110010720A
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 益子慶一郎;村上洋平;平野浩一
• 申請（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/068
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種太陽能單電池的制造方法，該太陽能單電池在半導(dǎo)體襯底的一個面上形成有用分離槽相互分離的p側(cè)電極和n側(cè)電極，所述太陽能單電池的制造方法的特征在于，包括：

在所述半導(dǎo)體襯底的所述一個面上形成p型區(qū)域和n型區(qū)域的工序；

在所述p型區(qū)域和所述n型區(qū)域上形成基底層和第1導(dǎo)電層的工序；

在所述第1導(dǎo)電層的與所述分離槽對應(yīng)的區(qū)域上形成抗蝕劑膜的工序；

將形成了所述抗蝕劑膜的所述第1導(dǎo)電層作為種子層，通過電解鍍依次形成第2導(dǎo)電層、含Sn的Sn層的工序；

在所述Sn層上形成將所述Sn層的表面合金化的金屬層的工序；和

分別對所述第1導(dǎo)電層和所述基底層進(jìn)行蝕刻的工序。

2.如權(quán)利要求1所述的太陽能單電池的制造方法，其特征在于：

在對所述第1導(dǎo)電層和所述基底層分別進(jìn)行了蝕刻的工序后，還包括從所述Sn層除去所述金屬層的工序。

3.如權(quán)利要求1或2所述的太陽能單電池的制造方法，其特征在于：

所述金屬層的膜厚比所述第1導(dǎo)電層的膜厚厚。

4.如權(quán)利要求1或2所述的太陽能單電池的制造方法，其特征在于：

所述第1導(dǎo)電層由Cu層構(gòu)成。

5.如權(quán)利要求1或2所述的太陽能單電池的制造方法，其特征在于：

所述第2導(dǎo)電層由Cu層構(gòu)成。

6.一種太陽能單電池，其在半導(dǎo)體襯底的一個面上形成有用分離槽相互分離的p側(cè)電極和n側(cè)電極，所述太陽能單電池的特征在于，包括：

在所述半導(dǎo)體襯底的所述一個面上具有p型區(qū)域和n型區(qū)域的半導(dǎo)體襯底；

分別形成于所述p型區(qū)域和所述n型區(qū)域上的基底層；

形成于所述基底層上的第1導(dǎo)電層；

形成于所述第1導(dǎo)電層上的第2導(dǎo)電層；和

覆蓋所述第2導(dǎo)電層的Sn層，

所述Sn層的表面被合金化。