[發(fā)明專利]一種高精度金屬掩膜板及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811588621.0
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109487215B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設計）人: 羅云鵬
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;黃以琳

本發(fā)明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種高精度金屬掩膜板及其制造方法，其中所述掩膜板包括安裝框架、掩膜條、遮擋條和支撐條；支撐條垂直于掩膜條和遮擋條設置，支撐條的兩端焊接在所述安裝框架上；遮擋條設置于支撐條上，遮擋條包括遮擋部和連接部，遮擋部呈“凵”形槽體結構，遮擋部的槽口朝上設置，連接部焊接于安裝框架上；掩膜條包括掩膜部和焊接部，掩膜部呈“凵”形槽體結構，掩膜部的槽口朝下設置，掩膜部接跨設于相鄰兩遮擋條的遮擋部上，且掩膜部的兩側壁分別與相鄰遮擋部兩對應側壁扣接，所述焊接部用于安裝框架焊接固定。在本方案中，遮擋板與掩膜條設置扣接結構貼合緊密，能夠提高產(chǎn)品蒸鍍良率，降低生產(chǎn)成本。

技術領域

本發(fā)明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種高精度金屬掩膜板及其制造方法。

背景技術

AMOLED目前較為成熟的制備工藝是有機真空蒸鍍工藝，有機真空蒸鍍工藝中較為重要的一項工藝是FMM工藝。利用金屬掩膜板進行蒸鍍區(qū)域定義，制作有機膜層。FMM工藝較為重要的一點是掩膜條和遮擋條需緊密貼合，以防止有機蒸汽從縫隙內(nèi)滲入，造成混色。

目前FM在掩膜板的制造過程中掩膜條和遮擋條均是通過先拉伸張緊后，然后在安裝框架上進行焊接，以其本身較高的平行度使掩膜條和遮擋板緊密貼合。一般情況下，在制造高精金屬掩膜板時先進行遮擋條的焊接，然后在遮擋條的上方焊接支撐條，最后在支撐條的上方焊接掩膜條，以此保證FMM焊接后整體的平整度。由于支撐條與掩膜條自身剛性不足，在使用過程中支撐條以及掩膜條容易形成塌陷，若支撐條或掩膜條張緊度或平整度異常，則二者貼合處會出現(xiàn)縫隙，有機蒸汽會從縫隙處散逸出來，造成混色異常，導致產(chǎn)品良率下降，生產(chǎn)成本明顯增加。

發(fā)明內(nèi)容

為此，需要提供一種高精度金屬掩膜板及其制造方法，來解決現(xiàn)有技術中掩膜板的支撐條以及掩膜條連接處容易形成塌陷，二者貼合處容易出現(xiàn)縫隙，有機蒸汽會從縫隙處散逸出來，造成混色異常，導致產(chǎn)品良率下降，生產(chǎn)成本高的問題。

為實現(xiàn)上述目的，發(fā)明人提供了一種高精度金屬掩膜板，所述掩膜板包括安裝框架、掩膜條、遮擋條和支撐條；

所述支撐條垂直于掩膜條和遮擋條設置，支撐條的兩端焊接在所述安裝框架上；

所述遮擋條設置于支撐條上，所述支撐條用于支撐遮擋條，所述遮擋條包括遮擋部和連接部，所述遮擋部呈“凵”形槽體結構，其槽深為d1，所述遮擋部的槽口朝上設置，所述連接部焊接于安裝框架上；

所述掩膜條包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽體結構，其槽深為d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下設置，掩膜部接跨設于相鄰兩遮擋條的遮擋部上，且掩膜部的兩側壁分別與相鄰遮擋部兩對應側壁扣接，所述焊接部用于安裝框架焊接固定。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選結構，所述安裝框架與遮擋條焊接的內(nèi)框側壁上設置有卡環(huán)，多個卡環(huán)在相對的側壁上對應設置，所述遮擋條的連接部由下向上穿過卡環(huán)并焊接于安裝框架的上表面上。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選結構，所述安裝框架與支撐條焊接的內(nèi)框側壁上設置有卡環(huán)，多個卡環(huán)在相對的側壁上對應設置，所述支撐條的兩端分別由下向上穿過卡環(huán)并焊接于安裝框架的上表面上。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選結構，所述卡環(huán)下緣到安裝框架上表面的距離d3，且d3＝d2。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選結構，所述掩膜條、遮擋條以及支撐條與安裝框架之間通過激光焊接固定。

進一步的，發(fā)明人還提供了一種高精度金屬掩膜板的制造方法，所述制造方法包括以下步驟：

提供一形成有蒸鍍區(qū)的安裝框架；

在安裝框架上焊接支撐條；

在支撐條上設置遮擋條，具體包括：將呈“凵”形槽體結構且槽深為d1的遮擋部槽口朝上，并通過遮擋部兩端的連接部與安裝框架焊接；