[發明專利]一種高精度金屬掩膜板及其制造方法

有效

• 申請號: 201811588621.0
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109487215B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 羅云鵬
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;黃以琳

1.一種高精度金屬掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括安裝框架、掩膜條、遮擋條和支撐條；

所述支撐條垂直于掩膜條和遮擋條設置，支撐條的兩端焊接在所述安裝框架上；

所述遮擋條設置于支撐條上，所述支撐條用于支撐遮擋條，所述遮擋條包括遮擋部和連接部，所述遮擋部呈“凵”形槽體結構，其槽深為d1，所述遮擋部的槽口朝上設置，所述連接部焊接于安裝框架上；

所述掩膜條包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽體結構，其槽深為d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下設置，掩膜部跨設于相鄰兩遮擋條的遮擋部上，且掩膜部的兩側壁分別與其相鄰的遮擋部的對應側壁扣接，掩膜部的兩內側壁分別與其對應的遮擋部的側壁緊密貼合，所述焊接部用于安裝框架焊接固定。

2.根據權利要求1所述的高精度金屬掩膜板，其特征在于，所述安裝框架與遮擋條焊接的內框側壁上設置有卡環，多個卡環在相對的側壁上對應設置，所述遮擋條的連接部由下向上穿過卡環并焊接于安裝框架的上表面上。

3.根據權利要求1或2所述的高精度金屬掩膜板，其特征在于，所述安裝框架與支撐條焊接的內框側壁上設置有卡環，多個卡環在相對的側壁上對應設置，所述支撐條的兩端分別由下向上穿過卡環并焊接于安裝框架的上表面上。

4.根據權利要求3所述的高精度金屬掩膜板，其特征在于，所述卡環下緣到安裝框架上表面的距離d3，且d3＝d2。

5.根據權利要求1所述的高精度金屬掩膜板，其特征在于，所述掩膜條、遮擋條以及支撐條與安裝框架之間通過激光焊接固定。

6.一種高精度金屬掩膜板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟：

提供一形成有蒸鍍區的安裝框架；

在安裝框架上焊接支撐條；

在支撐條上設置遮擋條，具體包括：將呈“凵”形槽體結構且槽深為d1的遮擋部槽口朝上，并通過遮擋部兩端的連接部與安裝框架焊接；

在遮擋條上設置掩膜條，具體包括：將呈“凵”形槽體結構且槽深為d2掩膜部槽口朝下，且d2＞d1，并通過掩膜部兩端的焊接部與安裝框架焊接，將掩膜部跨設于相鄰兩遮擋條的遮擋部上，使得掩膜部的兩側壁分別與其相鄰的遮擋部的對應側壁扣接；掩膜部的兩內側壁分別與其相對應的遮擋部的側壁緊密貼合；其中，所述支撐條垂直于掩膜條和遮擋條。

7.根據權利要求6所述的高精度金屬掩膜板的制造方法，其特征在于，所述“在支撐條上設置遮擋條”步驟之前還包括：

沿矩形金屬條的兩側彎折形成“凵”形槽體結構，彎折的寬度為d1，并沿彎折線裁剪掉矩形金屬條四個矩形邊角，形成遮擋條。

8.根據權利要求6所述的高精度金屬掩膜板的制造方法，其特征在于，所述“在遮擋條上設置掩膜條”之前還包括：

沿矩形金屬條的兩側彎折形成“凵”形槽體結構，彎折的寬度為d2，并沿彎折線裁剪掉矩形金屬條四個矩形邊角，形成掩膜條。

9.根據權利要求6所述的高精度金屬掩膜板的制造方法，其特征在于，“在安裝框架上焊接支撐條”具體是：將支撐條的兩端由下向上穿過卡環，并向外拉伸支撐條的兩端使其張緊后焊接于安裝框架上；“并通過遮擋部兩端連接部與安裝框架焊接”具體是：將遮擋條的兩端的連接部由下向上穿過卡環，并向外拉伸連接部使其張緊后焊接于安裝框架上。

10.根據權利要求9所述的高精度金屬掩膜板的制造方法，其特征在于，所述卡環下緣到安裝框架上表面的距離d3與掩膜部的槽深d2相同。