[發明專利]氣體溶解液制造裝置及氣體溶解液的制造方法

有效

• 申請號: 201811585934.0
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN109954414B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 中川洋一;小澤卓;渡邊敏史;徐濤
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B01F23/23
• 分類號: B01F23/23;B01F35/21
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種氣體溶解液制造裝置，其特征在于，具備：

氣體供給部，該氣體供給部供給作為氣體溶解液的原料的氣體；

第一液體供給部，該第一液體供給部供給作為所述氣體溶解液的原料的第一液體；

第二液體供給部，該第二液體供給部供給作為所述氣體溶解液的原料且與所述第一液體混合的第二液體；

氣體溶解液生成部，該氣體溶解液生成部使從所述氣體供給部供給的氣體溶解于從所述第一液體供給部供給的第一液體和從所述第二液體供給部供給的第二液體，從而生成氣體溶解液；以及

氣液分離箱，該氣液分離箱對在所述氣體溶解液生成部生成的氣體溶解液進行氣液分離，

在所述氣體溶解液制造裝置中，

在所述氣體溶解液生成部生成的氣體溶解液在從所述氣液分離箱供給到使用點后循環并向所述氣體溶解液制造裝置供給，

所述氣體溶解液制造裝置具備：

第二液體生成部，該第二液體生成部從循環的所述氣體溶解液中生成所述第二液體，并向所述第二液體供給部供給；

流量測定部，該流量測定部對供給到所述第二液體生成部的循環的所述氣體溶解液的流量進行測定；

氣體溶解液貯藏部，該氣體溶解液貯藏部貯藏循環的所述氣體溶解液；

液面測定部，該液面測定部對貯藏于所述氣體溶解液貯藏部的所述氣體溶解液的液面的高度進行測定；以及

控制部，該控制部根據由所述流量測定部測定的循環的所述氣體溶解液的流量，對供給到所述氣體溶解液生成部的所述第一液體的供給量進行控制，該控制部基于由所述液面測定部測定的所述氣體溶解液的液面的高度，對是否使所述第二液體供給部工作進行控制。

2.如權利要求1所述的氣體溶解液制造裝置，其特征在于，

所述第二液體生成部對循環的所述氣體溶解液實施熱分解處理或者光分解處理，并從所述氣體溶解液中生成所述第二液體。

3.如權利要求1所述的氣體溶解液制造裝置，其特征在于，

所述第二液體生成部對循環的所述氣體溶解液實施脫氣處理，并從所述氣體溶解液中生成所述第二液體。

4.如權利要求1所述的氣體溶解液制造裝置，其特征在于，

在所述氣體溶解液生成部生成并供給到裝置外部的所述氣體溶解液在裝置外部循環并供給到所述第二液體生成部。

5.如權利要求1所述的氣體溶解液制造裝置，其特征在于，

在所述氣體溶解液生成部生成且不供給到裝置外部的所述氣體溶解液在裝置內部循環并供給到所述第二液體生成部。

6.一種氣體溶解液的制造方法，其特征在于，是用權利要求1至5中的任一項所述的氣體溶解液制造裝置執行的氣體溶解液的制造方法，

所述氣體溶解液的制造方法包括以下步驟：

從氣體供給部供給作為氣體溶解液的原料的氣體；

從第一液體供給部供給作為所述氣體溶解液的原料的第一液體；

從第二液體供給部供給作為所述氣體溶解液的原料且與所述第一液體混合的第二液體；以及

在氣體溶解液生成部中，使從所述氣體供給部供給的氣體溶解于從所述第一液體供給部供給的第一液體和從所述第二液體供給部供給的第二液體，從而生成氣體溶解液，

在所述氣體溶解液生成部生成的氣體溶解液在供給到使用點后循環并向所述氣體溶解液制造裝置供給，

所述氣體溶解液的制造方法包括以下步驟：

在第二液體生成部中，從循環的所述氣體溶解液中生成所述第二液體，并向所述第二液體供給部供給；

在流量測定部中，對供給到所述第二液體生成部的循環的所述氣體溶解液的流量進行測定；以及

在控制部中，根據由所述流量測定部測定的循環的所述氣體溶解液的流量，對供給到所述氣體溶解液生成部的所述第一液體的供給量進行控制。