[發明專利]一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備

有效

• 申請號: 201811585318.5
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN109402636B
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 陳振龍
• 申請（專利權）人: 蘇師大半導體材料與設備研究院（邳州）有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 江蘇長德知識產權代理有限公司 32478
• 代理人: 于彬

1.一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，包括支腳(1)、外殼(2)和噴頭(19)，所述支腳(1)的上方安置有外殼(2)，所述噴頭(19)分布于外殼(2)的內部，其特征在于：所述支腳(1)的上方固定有外殼(2)，且外殼(2)的底端表面安置有密封塞(3)，所述密封塞(3)的下方設置有污水箱(4)，且污水箱(4)的內部安裝有延伸板(5)，所述污水箱(4)的下方固定有平衡腳(6)，且平衡腳(6)的左側安置有滾輪(7)，所述滾輪(7)的內部表面貼合有第二轉軸(33)，所述延伸板(5)的左側設置有固定塊(8)，且固定塊(8)的左側連接有液壓桿(9)，所述平衡腳(6)的外部表面安裝有固定環(10)，且固定環(10)的右側連接有第一轉軸(11)，所述第一轉軸(11)的右側設置有安裝塊(12)，所述外殼(2)的內部底端安置有底板(13)，且底板(13)的上方設置有支撐板(14)，所述支撐板(14)的前端安置有滑塊(15)，所述滑塊(15)與支撐板(14)之間為沖壓成型，且滑塊(15)的外部設置有滑道(16)。

2.根據權利要求1所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述支撐板(14)的右側安置有擋板(18)，所述擋板(18)的右端表面固定有把手(32)，所述支腳(1)與外殼(2)之間垂直，且支腳(1)之間分別位于外殼(2)的四個端點，并且支腳(1)與外殼(2)之間為沖壓成型。

3.根據權利要求1所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述支撐板(14)的頂端表面貼合有盛放板(17)，且盛放板(17)的頂端表面設置有防滑紋(31)，所述支撐板(14)的內部設置有通孔(30)，所述延伸板(5)與污水箱(4)之間為滑動連接，且延伸板(5)通過液壓桿(9)與污水箱(4)構成滑動升降結構。

4.根據權利要求1所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述噴頭(19)的上方固定有連接桿(20)，且連接桿(20)的上方連接有導管(21)，所述導管(21)的上方安裝有閥門(22)，且閥門(22)的上方固定有法蘭盤(23)，所述法蘭盤(23)的頂端表面安裝有螺絲(24)。

5.根據權利要求1所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述外殼(2)的上方貼合有儲液箱(25)，且儲液箱(25)的內部表面安置有防腐蝕層(26)，所述平衡腳(6)與固定環(10)之間為螺紋連接，且平衡腳(6)通過固定環(10)和第一轉軸(11)之間的配合與安裝塊(12)構成轉動結構。

6.根據權利要求5所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述儲液箱(25)的內部安置有電熱絲(27)，且儲液箱(25)的頂端設置有進水口(28)，所述進水口(28)的上方固定有密封蓋(29)，所述平衡腳(6)的底端表面與滾輪(7)的底端表面位于同一水平面，且滾輪(7)通過第二轉軸(33)與污水箱(4)構成轉動結構。

7.根據權利要求1所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述底板(13)與外殼(2)之間為沖壓成型，且底板(13)與水平線之間的夾角為45°。

8.根據權利要求3所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述支撐板(14)通過通孔(30)構成鏤空結構，且支撐板(14)通過滑塊(15)和滑道(16)之間的配合與外殼(2)構成滑動結構，并且盛放板(17)的面積小于支撐板(14)的面積，而且盛放板(17)通過防滑紋(31)構成粗糙結構。

9.根據權利要求4所述的一種具有廢屑回收結構并可控溫的智能蝕刻設備，其特征在于：所述噴頭(19)為扇形結構，且儲液箱(25)通過導管(21)和連接桿(20)之間的配合與噴頭(19)構成流通結構，并且導管(21)通過法蘭盤(23)和螺絲(24)之間的配合與閥門(22)法蘭連接。