[發(fā)明專(zhuān)利]一種高純氨產(chǎn)品檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811582390.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109444348A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙曉蘭;盧勇華;潘佳偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 海寧市英德賽電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N33/00
• 分類(lèi)號(hào): G01N33/00
• 代理公司: 嘉興海創(chuàng)專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33251
• 代理人: 鄭文濤

本發(fā)明提供一種高純氨產(chǎn)品檢測(cè)系統(tǒng)，產(chǎn)品氣管道、真空管道與進(jìn)氣總管一端連接，進(jìn)氣總管另一端具有支管一和支管二，水分檢測(cè)儀連接在支管一上，氣相色譜儀連接在支管二上，支管一上設(shè)置有手閥一、調(diào)壓閥一，支管二上設(shè)置有手閥二、調(diào)壓閥二，氮?dú)夤艿肋B接在支管一上，水分檢測(cè)儀的出口端上設(shè)置有真空泵，真空泵與尾氣管道二連接，分析旁路管道一一端與水分檢測(cè)儀進(jìn)氣端連接另一端與尾氣管道二連接，氣相色譜儀的一側(cè)進(jìn)氣口與氦氣管道連接，氣相色譜儀上設(shè)有尾氣管道三，分析旁路管道二頭端與支管二連接,尾端與尾氣管道二連接。產(chǎn)品氣分析過(guò)程無(wú)需取樣，僅通過(guò)管道輸送至系統(tǒng)內(nèi)，操作上避免了管道污染，操作簡(jiǎn)單確保產(chǎn)品品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于氣體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種高純氨產(chǎn)品檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，近年來(lái)尤其是高純氨氣(純度99.99999％)的使用及其廣泛，廣泛應(yīng)用于LED、太陽(yáng)能、光伏等行業(yè)。高純氣體的雜質(zhì)直接影響產(chǎn)品的品質(zhì)，為了加強(qiáng)產(chǎn)品的質(zhì)量控制，必然對(duì)產(chǎn)品檢測(cè)系統(tǒng)和檢測(cè)方法提出了更高的要求。空氣中含有多種氣體組分，若高純氣體暴露于空氣中，將導(dǎo)致產(chǎn)品污染，檢測(cè)失敗。此外，分析系統(tǒng)內(nèi)混入空氣或其他也將導(dǎo)致產(chǎn)品污染，導(dǎo)致檢測(cè)失敗。因此，目前缺乏一整套的分析系統(tǒng)，確保分析過(guò)程的精確度和準(zhǔn)確度，同時(shí)提高分析過(guò)程的分析效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種高純氨產(chǎn)品檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法，產(chǎn)品氣分析過(guò)程無(wú)需取樣，僅通過(guò)管道輸送至系統(tǒng)內(nèi)，操作上避免了管道污染，操作簡(jiǎn)單確保產(chǎn)品品質(zhì)。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種高純氨產(chǎn)品檢測(cè)系統(tǒng)，它包括產(chǎn)品氣管道、分析旁路管道一、分析旁路管道二、氮?dú)夤艿馈⑽矚夤艿酪弧⑽矚夤艿蓝⒄婵展艿馈⑦M(jìn)氣總管、水分檢測(cè)儀、氣相色譜儀，其特征在于，產(chǎn)品氣管道、真空管道與進(jìn)氣總管一端連接，進(jìn)氣總管另一端具有支管一和支管二，水分檢測(cè)儀連接在支管一上，氣相色譜儀連接在支管二上，支管一上設(shè)置有手閥一、調(diào)壓閥一，支管二上設(shè)置有手閥二、調(diào)壓閥二，氮?dú)夤艿肋B接在支管一上，水分檢測(cè)儀的出口端上設(shè)置有真空泵，真空泵與尾氣管道二連接，分析旁路管道一一端與水分檢測(cè)儀進(jìn)氣端連接另一端與尾氣管道二連接，氣相色譜儀的一側(cè)進(jìn)氣口與氦氣管道連接，氣相色譜儀上設(shè)有尾氣管道三，分析旁路管道二頭端與支管二連接,尾端與尾氣管道二連接，尾氣管道一與真空管道連接。

該系統(tǒng)用一套系統(tǒng)套儀器對(duì)產(chǎn)品氣的水分和輕組分進(jìn)行分析，真空管道和尾氣管道一用于檢測(cè)前對(duì)管道內(nèi)進(jìn)行抽空，尾氣管道二和尾氣管道三用于將儀器用氣排放至廢氣處理區(qū)，該系統(tǒng)通過(guò)各個(gè)管道將氣體直接輸送進(jìn)系統(tǒng)內(nèi)，無(wú)需取樣，操作簡(jiǎn)單。

進(jìn)一步的，所述的進(jìn)氣總管上設(shè)置有第一壓力表。

進(jìn)一步的，所述的分析旁路管道一和分析旁路管道二上設(shè)有流量計(jì)。

進(jìn)一步的，所述的氮?dú)夤艿郎显O(shè)有第二壓力表。

進(jìn)一步的，所述的產(chǎn)品氣管道上設(shè)有產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，氮?dú)夤艿郎显O(shè)有高氮進(jìn)氣閥，真空管道上設(shè)有真空抽氣閥，尾氣管道一上設(shè)有尾氣出氣閥，氦氣管道上設(shè)有氦氣進(jìn)氣閥。

一種高純氨產(chǎn)品檢測(cè)方法，其特征在于：

步驟一、測(cè)前準(zhǔn)備：打開(kāi)產(chǎn)品氣管道的產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，觀察第一壓力表的壓力至一定壓力，關(guān)閉產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，打開(kāi)尾氣管道一的尾氣出氣閥，將管道內(nèi)產(chǎn)品氣泄壓至3psi，重復(fù)上述操作20次，然后打開(kāi)真空管道閥門(mén)，管道抽真空1min；