[發(fā)明專利]一種高純氨產(chǎn)品檢測系統(tǒng)及其檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811582390.2
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN109444348A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙曉蘭;盧勇華;潘佳偉
• 申請（專利權(quán)）人: 海寧市英德賽電子有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33251
• 代理人: 鄭文濤

1.一種高純氨產(chǎn)品檢測系統(tǒng)，它包括產(chǎn)品氣管道、分析旁路管道一、分析旁路管道二、氮氣管道、尾氣管道一、尾氣管道二、真空管道、進(jìn)氣總管、水分檢測儀、氣相色譜儀，其特征在于，產(chǎn)品氣管道、真空管道與進(jìn)氣總管一端連接，進(jìn)氣總管另一端具有支管一和支管二，水分檢測儀連接在支管一上，氣相色譜儀連接在支管二上，支管一上設(shè)置有手閥一、調(diào)壓閥一，支管二上設(shè)置有手閥二、調(diào)壓閥二，氮氣管道連接在支管一上，水分檢測儀的出口端上設(shè)置有真空泵，真空泵與尾氣管道二連接，分析旁路管道一一端與水分檢測儀進(jìn)氣端連接另一端與尾氣管道二連接，氣相色譜儀的一側(cè)進(jìn)氣口與氦氣管道連接，氣相色譜儀上設(shè)有尾氣管道三，分析旁路管道二頭端與支管二連接,尾端與尾氣管道二連接，尾氣管道一與真空管道連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氨產(chǎn)品檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述的進(jìn)氣總管上設(shè)置有第一壓力表。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氨產(chǎn)品檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述的分析旁路管道一和分析旁路管道二上設(shè)有流量計。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氨產(chǎn)品檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述的氮氣管道上設(shè)有第二壓力表。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氨產(chǎn)品檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述的產(chǎn)品氣管道上設(shè)有產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，氮氣管道上設(shè)有高氮進(jìn)氣閥，真空管道上設(shè)有真空抽氣閥，尾氣管道一上設(shè)有尾氣出氣閥，氦氣管道上設(shè)有氦氣進(jìn)氣閥。

6.一種高純氨產(chǎn)品檢測方法，其特征在于：

步驟一、測前準(zhǔn)備：打開產(chǎn)品氣管道的產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，觀察第一壓力表的壓力至一定壓力，關(guān)閉產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，打開尾氣管道一的尾氣出氣閥，將管道內(nèi)產(chǎn)品氣泄壓至3psi，重復(fù)上述操作20次，然后打開真空管道閥門，管道抽真空1min；

步驟二、檢測工序：充氮狀態(tài)下水分檢測儀處于氮氣分析模式，檢測氨氣時，切換水分檢測儀分析模式由氮氣分析模式改為氨氣分析模式，關(guān)閉氮氣管道上的高氮進(jìn)氣閥，此時氮氣經(jīng)真空泵從尾氣管道二排出，觀察氮氣管道上的第二壓力表壓力示數(shù)至0psi時，打開產(chǎn)品氣管道的產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥，打開水分檢測儀的進(jìn)口閥門，調(diào)壓閥一調(diào)節(jié)壓力至30-60psi，產(chǎn)品氣管道內(nèi)氣體經(jīng)過支管一通過水分檢測儀開始對產(chǎn)品內(nèi)水分進(jìn)行分析，分析時觀察分析旁路管道一的流量和壓力，確保分析旁路處于流通狀態(tài)，打開產(chǎn)品氣至支管二至氣相色譜儀的手閥二，調(diào)壓閥二調(diào)節(jié)壓力至30-60psi,此時產(chǎn)品氣經(jīng)過支管二通過氣相色譜儀開始分析產(chǎn)品氣中的輕組分含量，分析時通過流量計觀察分析旁路管道二9的流量和壓力，確保分析旁路處于流通狀態(tài)，氣相色譜儀在分析產(chǎn)品氣時，氦氣管道上的氦氣進(jìn)氣閥自動關(guān)閉，分析產(chǎn)品氣，尾氣管道三在氣相色譜儀處于工作時保持常開狀態(tài)；

步驟三、停止分析：檢測完成后，關(guān)閉支管二上的手閥二和調(diào)壓閥氣相色譜儀自動切換至氦氣分析；關(guān)閉支管一上的閥門一，待第二壓力表示數(shù)為0時，打開氮氣管道上的高氮進(jìn)氣閥，調(diào)節(jié)高氮壓力，此時切換水分檢測儀分析至氮氣模式，關(guān)閉產(chǎn)品氣初始來源，打開尾氣管道一的尾氣出氣閥，將產(chǎn)品氣內(nèi)氨氣經(jīng)尾氣管道一排往尾氣處理區(qū)，觀察第一壓力表壓力至0psi,關(guān)閉產(chǎn)品氣管道上的產(chǎn)品氣進(jìn)氣閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高純氨檢測方法，其特征在于，在上述步驟二中，所述的分析旁路管道一和分析旁路管道二為常開狀態(tài)，且流量恒定。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高純氨檢測方法，其特征在于，在上述步驟二和步驟三中，所述的水分檢測儀和氣相色譜儀在未測樣時，水分檢測儀內(nèi)通氮氣且分析模式為氮氣模式，氣相色譜儀通氦氣，尾氣管道二和尾氣管道三為常開狀態(tài)，氣相色譜儀內(nèi)設(shè)置自動切換程序，開始測產(chǎn)品氣時，自動切斷氦氣管道分析產(chǎn)品氣，氣相色譜儀停止測樣時，自動切換至氦氣管道，氦氣管道上的氦氣進(jìn)氣閥為常開狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高純氨檢測方法，其特征在于，在上述步驟中二和步驟三中，所述正常運行時氦氣管道和氮氣管道為一用一備，水分檢測儀和氣相色譜儀禁止斷氣運行。