[發明專利]檢測設備和檢測方法

有效

• 申請號: 201811581005.2
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN111351448B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 陳魯;李青格樂;古凱男
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張海強

本公開提供了一種檢測設備和檢測方法，涉及檢測技術領域。檢測設備包括：運動盤，包括至少一個重復單元，所述重復單元包括相互分離的多個孔，所述運動盤用于帶動所述多個孔移動；存在一條直線，所述運動盤帶動所述多個孔在不同時刻下移動至所述直線上時，所述多個孔相互貫通；物鏡，被配置為接收探測光入射到待測物體的表面后由所述待測物體的表面返回的信號光；匯聚元件，被配置為將來自所述物鏡的信號光聚焦在所述直線處；和探測裝置，被配置為接收所述多個孔中的每個孔移動至所述直線上時透過該孔的信號光。

技術領域

本公開涉及檢測技術領域，尤其涉及一種檢測設備和檢測方法。

背景技術

目前的一種用于三維形貌的檢測方式中，需要部署多個點陣光源，每個點陣光源用于產生入射到待測物體的表面的探測光。

但是，發明人注意到，這樣的方式中，由于點陣光源的工藝限制，點陣光源的尺寸不能過小，故點陣光源產生的探測光斑的尺寸也不能過小。另外，相鄰的點陣光源產生的探測光斑之間具有間隙，待測物體的表面的某些區域不能被檢測到。這兩方面因素導致檢測精度較低。

發明內容

為了解決上述問題，本公開實施例提供了如下技術方案。

根據本公開實施例的一方面，提供一種檢測設備，包括：運動盤，包括至少一個重復單元，所述重復單元包括相互分離的多個孔，所述運動盤用于帶動所述多個孔移動；存在一條直線，所述運動盤帶動所述多個孔在不同時刻下移動至所述直線上時，所述多個孔相互貫通；物鏡，被配置為接收探測光入射到待測物體的表面后由所述待測物體的表面返回的信號光；匯聚元件，被配置為將來自所述物鏡的信號光聚焦在所述直線處；和探測裝置，被配置為接收所述多個孔中的每個孔移動至所述直線上時透過該孔的信號光。

在一些實施例中，所述物鏡的光軸方向與所述待測物體的表面的法線方向平行。

在一些實施例中，所述物鏡為色散物鏡，所述色散物鏡還被配置為將不同波長的探測光匯聚至沿物鏡光軸方向的不同位置處。

在一些實施例中，所述多個孔包括多個條形單元，每個條形單元包括一個孔或沿某一方向排列的多個相互分離的孔。

在一些實施例中，所述運動盤為圓形旋轉盤，每個條形單元中的孔的排列方向為所述圓形旋轉盤的半徑方向。

在一些實施例中，每個條形單元中的孔設置在除所述圓形旋轉盤的中心之外的區域。

在一些實施例中，每個條形單元包括多個孔，并且，不同條形單元中的孔的排列方向相同；所述運動盤用于帶動所述多個孔沿垂直于孔的排列方向的方向移動。

在一些實施例中，當所述多個孔移動至所述直線上時，所述多個孔中的任意兩個孔不交疊。

在一些實施例中，所述匯聚元件包括與所述多個孔對應的多個匯聚子元件，其中，一個匯聚子元件對應一個孔；每個匯聚子元件被配置為將入射到該匯聚子元件的信號光聚焦在對應的孔處。

在一些實施例中，所述探測裝置包括多個感光元件；在同一時刻，所述多個感光元件中接收到所述信號光的感光單元不相鄰。

在一些實施例中，所述物鏡還被配置為將所述探測光匯聚于所述待測物體的表面；所述檢測設備還包括：光源，用于產生原始光；光束整形元件，被配置為將來自光源的原始光整形成線形探測光；第一分束元件，被配置為使得線形探測光的一部分透射，以得到所述探測光；將所述信號光的一部分反射到所述匯聚透鏡。