[發(fā)明專利]檢測設(shè)備和檢測方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811581005.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN111351448B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;李青格樂;古凱男
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/25
• 分類號(hào): G01B11/25
• 代理公司: 中國貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 張海強(qiáng)

1.一種檢測設(shè)備，包括：

運(yùn)動(dòng)盤，包括至少一個(gè)重復(fù)單元，所述重復(fù)單元包括相互分離的多個(gè)孔，所述運(yùn)動(dòng)盤用于帶動(dòng)所述多個(gè)孔移動(dòng)；存在一條直線，所述運(yùn)動(dòng)盤用于帶動(dòng)所述多個(gè)孔在不同時(shí)刻下移動(dòng)至所述直線上，在所述不同時(shí)刻下的所述多個(gè)孔相互貫通，并且，所述多個(gè)孔中的不同孔移動(dòng)至所述直線上時(shí)處于所述直線的不同位置；

物鏡，被配置為接收探測光入射到待測物體的表面后由所述待測物體的表面返回的信號(hào)光；

匯聚元件，被配置為將來自所述物鏡的信號(hào)光聚焦在所述直線處；

探測裝置，被配置為接收所述多個(gè)孔中的每個(gè)孔移動(dòng)至所述直線上時(shí)透過該孔的信號(hào)光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述物鏡的光軸方向與所述待測物體的表面的法線方向平行。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述物鏡為色散物鏡，所述色散物鏡還被配置為將不同波長的探測光匯聚至沿物鏡光軸方向的不同位置處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述多個(gè)孔包括多個(gè)條形單元，每個(gè)條形單元包括一個(gè)孔或沿某一方向排列的多個(gè)相互分離的孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測設(shè)備，其中，所述運(yùn)動(dòng)盤為圓形旋轉(zhuǎn)盤，每個(gè)條形單元中的孔的排列方向?yàn)樗鰣A形旋轉(zhuǎn)盤的半徑方向。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測設(shè)備，其中，每個(gè)條形單元中的孔設(shè)置在除所述圓形旋轉(zhuǎn)盤的中心之外的區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測設(shè)備，其中，每個(gè)條形單元包括多個(gè)孔，并且，不同條形單元中的孔的排列方向相同；

所述運(yùn)動(dòng)盤用于帶動(dòng)所述多個(gè)孔沿垂直于孔的排列方向的方向移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，當(dāng)所述多個(gè)孔移動(dòng)至所述直線上時(shí)，所述多個(gè)孔中的任意兩個(gè)孔不交疊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述匯聚元件包括與所述多個(gè)孔對(duì)應(yīng)的多個(gè)匯聚子元件，其中，一個(gè)匯聚子元件對(duì)應(yīng)一個(gè)孔；

每個(gè)匯聚子元件被配置為將入射到該匯聚子元件的信號(hào)光聚焦在對(duì)應(yīng)的孔處。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述探測裝置包括多個(gè)感光元件；

在同一時(shí)刻，所述多個(gè)感光元件中接收到所述信號(hào)光的感光單元不相鄰。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述物鏡還被配置為將所述探測光匯聚于所述待測物體的表面；

所述檢測設(shè)備還包括：

光源，用于產(chǎn)生原始光；

光束整形元件，被配置為將來自光源的原始光整形成線形探測光；

第一分束元件，被配置為使得線形探測光的一部分透射，以得到所述探測光；將所述信號(hào)光的一部分反射到所述匯聚透鏡。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其中，所述物鏡還被配置為將所述探測光匯聚于所述待測物體的表面；

所述檢測設(shè)備還包括：

光源，用于產(chǎn)生原始光；

光束整形元件，被配置為將來自光源的原始光整形成線形探測光；

第二分束元件，被配置為使得所述線形探測光的一部分透射；將第一透鏡準(zhǔn)直后的信號(hào)光的一部分反射到所述探測裝置；

第一透鏡，被配置為將所述第二分束元件透射的線形探測光聚焦在所述直線處；將從所述直線處透射的信號(hào)光準(zhǔn)直；

所述匯聚元件還被配置為將從所述直線處透射的線形探測光準(zhǔn)直，以得到所述探測光。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的檢測設(shè)備，其中，所述光束整形元件包括：

第二透鏡，被配置為將來自光源的原始光準(zhǔn)直；

柱鏡，被配置為將準(zhǔn)直后的原始光聚焦以得到初始線形探測光；

第三透鏡，被配置為將初始線形探測光準(zhǔn)直，以得到所述線形探測光。