[發明專利]一種制備FIB三維重構用“鼻尖”試樣的方法

有效

• 申請號: 201811568193.5
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN109540947B
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 袁紫櫻;關舒月;馮榮;程永建;陳曉華
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202
• 代理公司: 北京市廣友專利事務所有限責任公司 11237
• 代理人: 張仲波

1.一種制備FIB三維重構用“鼻尖”試樣的方法，其特征在于工藝步驟為：

(1)普通金相制樣；

(2)在光學顯微鏡或掃描電鏡下標記樣品待測區域；

(3)使用切割技術粗加工，使得樣品呈“L”形或條形，待測區域位于樣品前端，初步形成“鼻尖”，“鼻尖”寬度為1mm以下；

(4)用高目砂紙打磨“鼻尖”兩側，或借助電化學拋光腐蝕樣品前端，縮減“鼻尖”寬度到100μm以下；

(5)用FIB系統精修“鼻尖”達到指定尺寸；

所述“L”形樣品制作流程為：

(a)標記待測區域；

(b)使用切割技術粗加工，切割出“L”形樣品；“L”形中的粗臂方便粘貼樣品，待測區域位于細臂前端；

(c)取出“L”形塊，相關尺寸為：以待測區域為中心，左、右、前部各留出0.5mm，“L”形塊總體長4mm，寬3mm，深3mm；

(d)用高目砂紙打磨“鼻尖”兩側，縮減“鼻尖”寬度到0.1mm以下；

(e)用銀膠將“L”形塊粘到工作臺上，將樣品待測區域表面鍍鉑后用FIB系統精修“鼻尖”，之后切片、表征；

所述條形樣品制作流程為：

(a)標記待測區域；

(b)使用切割技術切出條形樣；

(c)取出條形塊，相關尺寸為：以待測區域為中心，左、右、前部各留出0.5mm，條形塊總體長4mm，寬1mm，深3mm；

(d)借助電化學拋光腐蝕長條前端，使得“鼻尖”寬度進一步達到0.1mm以下；

(e)用酒精清洗金屬塊，并用砂紙磨光金屬塊待粘表面，用銀膠將樣品粘到金屬塊上，再用銀膠將金屬塊粘到工作臺上；注意：要露出被切割尖端，樣品上表面要平行于工作臺；將樣品待測區域表面鍍鉑后用FIB系統精修鼻尖，之后切片、表征。

2.對權利要求1所述一種制備FIB三維重構用“鼻尖”試樣的方法，其特征在于，所用樣品材料為導電性材料。

3.對權利要求1所述一種制備FIB三維重構用“鼻尖”試樣的方法，其特征在于，工藝步驟⑶所述切割技術為線切割、激光切割或電火花切割。