[發(fā)明專利]一種顯示面板的制程方法和顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811568113.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN109755259B
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葛邦同
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L21/77;H01L21/02
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

1.一種顯示面板的制程方法，其特征在于，所述制程方法包括第一基板的制程方法，所述第一基板的制程方法包括步驟：

在基板沉積底層材料；

使用準(zhǔn)分子紫外光照射操作對(duì)底層材料上表面進(jìn)行潔凈工作；

對(duì)完成準(zhǔn)分子紫外光照射操作的底層材料上表面進(jìn)行水洗操作；

對(duì)完成準(zhǔn)分子紫外光照射操作和水洗操作之后的底層結(jié)構(gòu)的上表面使用風(fēng)刀吹干操作；

在底層材料上方沉積第二層金屬；

通過光罩制程蝕刻第二層金屬以形成第二金屬層；

在第二金屬層的上方形成鈍化層和透明導(dǎo)電層；

所述底層材料用于形成有源層，所述有源層為非晶硅層，所述第二金屬層蝕刻形成源極和漏極；所述準(zhǔn)分子紫外光的波長為274納米；

所述在基板沉積底層材料的步驟包括：

在基板上依次形成柵極和柵極絕緣層；

在柵極絕緣層的上方沉積有源層材料作為底層材料；

所述通過光罩制程蝕刻第二層金屬以形成第二金屬層的步驟包括：

通過同一道光罩制程，先蝕刻第二層金屬形成包括源極和漏極的第二金屬層；再蝕刻底層材料形成有源層。

2.一種顯示面板的制程方法，其特征在于，所述制程方法包括第一基板的制程方法，所述第一基板的制程方法包括步驟：

在基板上依次形成柵極和柵極絕緣層；

在柵極絕緣層的上方沉積有源層材料作為底層材料；

對(duì)底層材料的上表面，采用準(zhǔn)分子紫外光照射操作，并進(jìn)行水洗操作，完成底層結(jié)構(gòu)的表面的潔凈工作；

對(duì)完成準(zhǔn)分子紫外光照射操作和水洗操作之后的底層結(jié)構(gòu)的上表面使用風(fēng)刀吹干操作；

在底層材料上方沉積第二層金屬；

通過同一道光罩制程，先蝕刻第二層金屬形成包括源極和漏極的第二金屬層；再蝕刻底層材料形成有源層；

在第二金屬層的上方形成鈍化層和透明導(dǎo)電層；

所述柵極絕緣層和有源層是通過化學(xué)氣相沉積，然后蝕刻形成的；

所述有源層為非晶硅層，準(zhǔn)分子紫外線波長為274納米。

3.一種顯示面板，其特征在于，包括采用如權(quán)利要求1至2任意一項(xiàng)所述的制程方法制造得到。