[發明專利]一種硅片清洗水中插籃設備

在審

• 申請號: 201811565906.2
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN109545724A
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 韓木迪;張淳;戴超;齊風;李笑巖
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

1.一種硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：包括水槽(1)、移動吸取裝置、硅片移動裝置和噴嘴(2)，移動吸取裝置分別固定安裝在水槽(1)的兩側，硅片移動裝置可夾持住硅片且往復移動的設置在水槽(1)內，噴嘴(2)位于硅片移動裝置下，移動吸取裝置包括xyz模組(3)和真空吸盤(4)，真空吸盤(4)設置在xyz模組(3)上且在xyz模組(3)的帶動下沿xyz方向移動，真空吸盤(4)將硅片移動裝置上清洗好的硅片(15)取下。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：硅片移動裝置包括傳動裝置和片籃支架，片籃支架包括支撐板(5)和移動支架，支撐板(5)位于移動支架中間且支撐板(5)的下端固定設置在水槽(1)內，移動支架通過連接軸(6)與支撐板(5)連接，傳動裝置與移動支架連接，傳動裝置帶動移動支架沿著連接軸(6)移動，支撐板(5)一側設置有滾輪(7)，可配合移動支架夾緊硅片(15)。

3.根據權利要求2所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：移動支架包括左連接板(8)和右連接板(9)，兩者之間固定設置有導向桿(10)，支撐板(5)上設置有供導向桿(10)穿過的孔，連接軸(6)穿出左連接板(8)和右連接板(9)的兩端與軸承支座(11)固定連接。

4.根據權利要求2所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：滾輪(7)通過安裝桿固定，且滾輪(7)的轉動方向為豎直方向。

5.根據權利要求3所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：滾輪(7)與左連接板(8)或右連接板(9)之間夾持硅片，噴嘴(2)設置在靠近滾輪(7)的一側的第一片硅片(15)與第二片硅片(15)接觸面的下方。

6.根據權利要求3所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：傳動裝置包括電機(12)、水平傳送帶(13)和連接塊，電機(12)帶動水平傳送帶(13)轉動，連接塊固定設置在水平傳送帶(13)上，連接塊與左連接板(8)或右連接板(9)固定連接，水平傳送帶(13)進而帶動移動支架沿著連接軸(6)移動。

7.根據權利要求1所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：水槽(1)內且位于片籃支架的兩端均設置有收集箱(14)。

8.根據權利要求4所述的硅片清洗水中插籃設備，其特征在于：滾輪(7)至少為2個。