[發明專利]成膜裝置

有效

• 申請號: 201811560346.1
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN110541147B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 市原正浩
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/52;H10K71/16
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉楊

本發明提供蒸鍍裝置，其特征在于，該蒸鍍裝置包括：真空槽，在真空氣氛下進行對于被蒸鍍構件的蒸鍍工序；以及蒸發源，與所述被蒸鍍構件的成膜面相向地配置在所述真空槽內，通過朝向所述被蒸鍍構件的成膜面噴射成膜材料而進行蒸鍍，所述真空槽在與所述被蒸鍍構件的成膜面相向的一側的壁上具有光學窗，所述蒸發源被配置為，在蒸鍍時能夠沿著所述被蒸鍍構件的面內方向在所述被蒸鍍構件與所述窗之間移動。

技術領域

本發明涉及成膜裝置。

背景技術

最近，作為平板顯示器，有機電場發光顯示器受到關注。有機電場發光顯示器作為自發光顯示器，響應速度、視場角、薄型化等特性優于液晶面板顯示器，利用監視器、電視機、智能手機所代表的各種便攜終端等迅速地代替現有的液晶面板顯示器。另外，其應用領域也擴大至汽車用顯示器等。

有機電場發光顯示元件具有在兩個相對的電極(陰極電極、陽極電極)之間形成有引起發光的有機物層的基本構造。有機電場發光顯示器的有機物層和電極金屬層通過隔著在真空腔室內形成有所希望的像素圖案的掩模使蒸鍍物質蒸鍍到基板上而制造。

在專利文獻1中，公開了以下的內容，即，作為以往的真空蒸鍍裝置，在真空處理室的上部水平地配置作為蒸鍍對象物的基板和掩模，且使成膜材料從與它們相向地配置于真空處理室的下部的蒸發源蒸發而蒸鍍到基板上的裝置中，在真空處理室上表面的蒸鍍對象物配置區域(蒸鍍區域)的外側，朝向真空處理室內部插設線狀的玻璃棒，在真空處理室內部以能夠旋轉的方式將變更光路的棱鏡連結于該玻璃棒的頂端，通過該光路，由設置于真空處理室外部的照相機識別形成在作為蒸鍍對象物的基板和掩模上的對準標記。

但是，上述現有例的裝置存在無法從蒸鍍裝置的外部直接觀察蒸鍍區域中的成膜進行狀況這樣的問題。另外，與蒸鍍區域相向地配置的蒸發源的情況也存在無法在外部直接監視這樣的問題。

另一方面，最近，隨著作為蒸鍍對象物的基板尺寸的大型化的發展，提出了如下構成的蒸鍍裝置：蒸發源相對于基板在規定的可動區域內往返移動的同時，遍及整個基板進行蒸鍍，但是特別是在具備這樣的可動蒸發源的蒸鍍裝置的情況下，要求不僅從外部觀察相對于基板的成膜進行狀況，還從外部觀察蒸發源的移動狀態等情況，能夠容易地觀測判別有無異常的方案。

專利文獻1：日本特開2013-117066號公報

發明內容

鑒于以上課題，本發明的目的在于提供一種能夠容易地從蒸鍍裝置的外部觀察可動蒸發源的移動狀態等情況和相對于作為被蒸鍍構件的基板的成膜狀況的蒸鍍裝置以及使用了該蒸鍍裝置的蒸鍍方法。

[用于解決課題的技術方案]

本發明的一技術方案的蒸鍍裝置，其特征在于，該蒸鍍裝置包括：真空槽，在真空氣氛下進行對于被蒸鍍構件的蒸鍍工序；以及蒸發源，與所述被蒸鍍構件的成膜面相向地配置在所述真空槽內，通過朝向所述被蒸鍍構件的成膜面噴射成膜材料而進行蒸鍍，所述真空槽在與所述被蒸鍍構件的成膜面相向的一側的壁上具有光學窗，所述蒸發源被配置為，在蒸鍍時能夠沿著所述被蒸鍍構件的面內方向在所述被蒸鍍構件與所述窗之間移動。

本發明的另一技術方案的蒸鍍裝置，在所述蒸鍍裝置中，其特征在于，所述被蒸鍍構件以在鉛垂方向上立起的狀態配置在所述真空槽內，所述蒸發源具有由噴射所述成膜材料的多個噴嘴在鉛垂方向上排列而成的噴嘴列，所述蒸發源被配置為，在與所述鉛垂方向正交的水平方向上，能夠沿著所述被蒸鍍構件的面內方向在所述被蒸鍍構件與所述窗之間移動。