[發明專利]一種晶圓卸載和壓緊裝置

在審

• 申請號: 201811558300.6
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN111341720A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 劉海洋;邱勇;劉小波;李娜;陳兆超;王鋮熠;胡冬冬;許開東
• 申請（專利權）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京得信知識產權代理有限公司 11511
• 代理人: 孟海娟;崔建麗

1.一種晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

包括：驅動機構，推板(8)，連接桿(7)，壓環(3)和頂針(12)，所述驅動機構包括氣缸(6)及其上行氣路(10)和下行氣路(9)，壓環(3)通過連接桿(7)與推板(8)連接，頂針(12)與推板(8)相連，氣缸(6)推動推板(8)帶動壓環(3)和頂針(12)上下運動。

2.根據權利要求1所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

所述氣缸(6)為兩個。

3.根據權利要求1或2所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

所述氣缸(6)的上行和下行由第一換向閥(13)控制，所述氣缸(6)與所述上行氣路(10)間設置了第一調速閥(16)，所述氣缸(6)與下行氣路(9)間設置了第二調速閥(17)、第三單向閥(18)、調壓閥(15)以及第二換向閥(14)，所述第二換向閥(14)與所述第三單向閥(18)和調壓閥(15)并聯設置，其中，所述第一調速閥(16)包括第一單向閥(161)和第一可調溢流閥(162)，所述第二調速閥(17)包括第二單向閥(171)和第二可調溢流閥(172)。

4.根據權利要求3所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

當需裝載晶圓(11)時，所述氣缸(6)需上行到達指定位置，所述第一換向閥(13)處于右位，所述上行氣路(10)接通，所述第二換向閥(14)處于左位直通狀態，所述第一調速閥(16)中的第一單向閥(161)開啟，所述第二調速閥(17)中的第二單向閥(171)閉合，第二可調溢流閥(172)起作用，所述第三單向閥(18)閉合，所述氣缸(6)帶動所述壓環(3)和所述頂針(12)上行到達指定位置。

5.根據權利要求3所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

裝載晶圓后，切換所述第一換向閥(13)至左位，所述下行氣路(9)接通，所述第二換向閥(14)處于右位斷開狀態，此時所述第三單向閥(18)開啟，所述調壓閥(15)起作用，所述第二調速閥(17)中的第二單向閥(171)開啟，所述第一調速閥(16)中第一單向閥(161)關閉，所述第一可調溢流閥(162)起到限速作用，所述氣缸(6)帶動所述壓環(3)、所述頂針(12)和所述晶圓(11)下行，所述晶圓(11)到達指定位置后，所述頂針(12)與所述晶圓(11)分離，所述壓環(3)繼續緩慢下降，直到所述壓環(3)壓緊所述晶圓(11)。

6.根據權利要求3所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

卸載所述晶圓(11)時，切換所述第一換向閥(13)至右位，所述上行氣路(10)接通，所述第二換向閥(14)位于左位直通狀態，所述氣缸(6)上行，所述第一調速閥(16)中的第一單向閥(161)開啟，所述第二調速閥(17)中的第二單向閥(171)閉合，第二可調溢流閥(172)起作用，所述第三單向閥(18)閉合，所述氣缸(6)帶動所述壓環(3)和所述頂針(12)上行到達指定位置。

7.根據權利要求3所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

當壓環在無晶圓的情況下下行時，切換所述第一換向閥(13)至左位，所述下行氣路(9)接通，所述第二換向閥(14)處于左位直通狀態，從而使所述下行氣路(9)繞過所述調壓閥(15)，所述壓環(3)可以較快下降到指定位置。

8.根據權利要求1所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

所述連接桿(7)為三根，且均勻分布。

9.根據權利要求1所述的晶圓卸載和壓緊裝置，其特征在于，

所述頂針(12)為三根，且均勻分布。