[發明專利]一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置

在審

• 申請號: 201811556163.2
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN109306462A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 馬毅;黃先偉;宋宇軒;潘州鑫;李相清
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發明公開了一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，包括試樣臺固定裝置和圓棒試樣夾持裝置。試樣臺固定裝置由固定板與螺釘等部件組成；圓棒試樣夾持裝置由電機與螺紋套筒等部件組成。本發明結構設計巧妙，使用方便，能夠同時自動給多根圓棒試樣鍍膜。在磁控濺射儀內應用本裝置同時給多根圓棒試樣鍍膜，操作簡單，自動性高，穩定性強，膜的厚度也比較均勻，且與基體有著良好的結合力。

技術領域

本發明屬于圓棒試樣鍍膜領域，具體涉及一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置。

背景技術

目前，各式各樣的具有優秀力學性能的薄膜在石油、化工、制藥等生產領域具有廣泛的應用前景。在實驗室制備薄膜并進行力學性能測試之前，薄膜需要先鍍在合適的基體上。磁控濺射儀是一種十分先進且技術成熟的鍍膜儀器，適用于制備金屬、無機物甚至高分子薄膜。已經廣泛應用在金屬強化膜、半導體太陽能薄膜、磁性器件薄膜甚至陶瓷薄膜等領域。通過磁控濺射鍍膜，成膜速度快，薄膜質量高，膜-基結合力強，薄膜成分、結構均勻。但是磁控濺射儀自帶的系統一般只適用于具有平面的板塊狀基體試樣鍍膜，對于曲面的圓棒試樣并不適用，由于存在陰影效應，鍍上的膜將會厚度不均勻，這會對后續的力學性能試驗造成很嚴重的影響。而圓棒狀試樣憑借其自身的優點被廣泛的應用于高溫蠕變試驗、蠕變疲勞試驗等一些力學性能試驗中，而板塊狀試樣并不適用于這些試驗。另外，為了確保數據的有效性，在同一實驗條件下，蠕變試驗與蠕變疲勞試驗需要準備多根鍍好膜的圓棒試樣。因此，如何開發一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣夾持裝置，能夠使得磁控濺射儀均勻的給多根圓棒試樣同時鍍膜已經成為影響具有優秀力學性能的薄膜研發領域的關鍵性難題。

發明內容

針對現有技術中存在的上述問題，本發明的目的在于提供一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，以使得磁控濺射儀可以給帶有曲面的圓棒試樣進行鍍膜。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案:

一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，包括試樣臺固定裝置和圓棒試樣夾持裝置；所述圓棒試樣夾持裝置通過試樣臺固定裝置固定連接在磁控濺射儀試樣臺的下部；所述圓棒試樣夾持裝置包括第二電機、第二傳動桿、第一傳動輪和第二傳動輪；所述第二傳動桿的一端與第二電機的輸出軸固定連接；所述第二傳動桿上設有第一傳動輪和第二傳動輪；所述第一傳動輪與第二傳動輪之間至少設有兩個旋轉夾持組件。

所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，所述試樣臺固定裝置包括第一螺母、第一固定板、第一螺釘、第二固定板、第二螺釘、第三固定板、第二螺母和第一連桿；所述第一固定板的一端與第二固定板通過第一螺釘和第一螺母的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺上；所述第一固定板的另一端與第三固定板通過第二螺釘與第二螺母的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺上；所述第二電機通過第一連桿與第一固定板固定連接。

所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，所述旋轉夾持組件包括固定座和電機；所述固定座一端固定連接在第一傳動輪上，另一端活動連接有螺紋套筒；所述電機一端固定連接在第二傳動輪上，另一端固定連接有螺紋套筒。

所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，所述第一傳動輪與第二傳動輪之間均勻分布設置有四個旋轉夾持組件。