[發明專利]一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置

在審

• 申請號: 201811556163.2
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN109306462A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 馬毅;黃先偉;宋宇軒;潘州鑫;李相清
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

1.一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，其特征在于，包括試樣臺固定裝置和圓棒試樣夾持裝置；所述圓棒試樣夾持裝置通過試樣臺固定裝置固定連接在磁控濺射儀試樣臺（6）的下部；所述圓棒試樣夾持裝置包括第二電機（15）、第二傳動桿（21）、第一傳動輪（22）和第二傳動輪（30）；所述第二傳動桿（25）的一端與第二電機（15）的輸出軸固定連接；所述第二傳動桿（25）上設有第一傳動輪（22）和第二傳動輪（30）；所述第一傳動輪（22）與第二傳動輪（30）之間至少設有兩個旋轉夾持組件。

2.根據權利要求1所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述試樣臺固定裝置包括第一螺母（2）、第一固定板（3）、第一螺釘（4）、第二固定板（5）、第二螺釘（11）、第三固定板（12）、第二螺母（13）和第一連桿（14）；所述第一固定板（3）的一端與第二固定板（5）通過第一螺釘（4）和第一螺母（2）的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺（6）上；所述第一固定板（3）的另一端與第三固定板（12）通過第二螺釘（11）與第二螺母（13）的螺紋連接固定于磁控濺射儀試樣臺（6）上；所述第二電機（15）通過第一連桿（14）與第一固定板（3）固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述旋轉夾持組件包括固定座和電機；所述固定座一端固定連接在第一傳動輪（22）上，另一端活動連接有螺紋套筒；所述電機一端固定連接在第二傳動輪（30）上，另一端固定連接有螺紋套筒。

4.根據權利要求3所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述第一傳動輪（22）與第二傳動輪（30）之間均勻分布設置有四個旋轉夾持組件。

5.根據權利要求4所述的一種適用于磁控濺射儀的圓棒試樣高通量鍍膜夾持裝置，其特征在于，所述圓棒試樣夾持裝置包括第一螺紋套筒（23）、第一固定座（24）、第二固定座（25）、第二螺紋套筒（26）、第三螺紋套筒（28）、第三電機（29）、第四螺紋套筒（32）、第四電機（33）、第五電機（34）、第六電機（35）、第五螺紋套筒（36）、第六螺紋套筒（37）、第七螺紋套筒（40）、第三固定座（41）、第八螺紋套筒（42）和第四固定座（43）；所述第一傳動輪（22）上均勻分布設置有第一固定座（24）、第二固定座（25）、第三固定座（41）與第四固定座（43）；所述第一固定座（24）、第二固定座（25）、第三固定座（41）和第四固定座（43）分別與第一螺紋套筒（23）、第二螺紋套筒（26）、第七螺紋套筒（40）和第八螺紋套筒（42）活動連接；所述第二傳動輪（30）上均勻分布設置有第三電機（29）、第四電機（33）、第五電機（34）和第六電機（35）；所述第三電機（29）、第四電機（33）、第五電機（34）和第六電機（35）的輸出軸分別與第三螺紋套筒（28）、第四螺紋套筒（32）、第五螺紋套筒（36）和第六螺紋套筒（37）固定連接。

6.根據權利要求3所述的一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，其特征在于，所述固定座上的螺紋套筒與所述電機上的螺紋套筒的開口相互對應，并與兩端絞有螺紋的圓棒試樣相互配合。

7.根據權利要求2所述的一種適用于磁控濺射儀的自動式圓棒試樣鍍膜裝置，其特征在于，所述第一固定板（3）的上表面與磁控濺射儀試樣臺（6）的下表面緊密貼合。