[發明專利]一種帶參考氣室的光電探測器的制備方法有效
| 申請號: | 201811550051.6 | 申請日: | 2018-12-18 |
| 公開(公告)號: | CN109781659B | 公開(公告)日: | 2020-12-11 |
| 發明(設計)人: | 宋子毅;蘆稷臣 | 申請(專利權)人: | 武漢市翎風光電科技有限公司;宋子毅 |
| 主分類號: | G01N21/39 | 分類號: | G01N21/39;H01L31/0203 |
| 代理公司: | 武漢維創品智專利代理事務所(特殊普通合伙) 42239 | 代理人: | 余麗霞;葉麗麗 |
| 地址: | 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 參考 光電 探測器 制備 方法 | ||
1.一種帶參考氣室的光電探測器的制備方法,其特征在于,應用于帶參考氣室的光電探測器,所述帶參考氣室的光電探測器包括光電探測器本體,所述光電探測器本體內設有參考氣室(100),所述參考氣室(100)內填充有被測氣體,方法包括以下步驟:
將所述被測氣體注入所述光電探測器本體內部的所述參考氣室內;
在所述參考氣室注入所述被測氣體之后,采用焊料通過加熱融化焊接方式對所述參考氣室進行密封;
所述焊料包括金屬焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一種;
所述加熱融化焊接方式包括脈沖加熱方式、恒溫加熱方式、氣體加熱方式和激光加熱方式中的至少一種;
所述被測氣體是易燃易爆氣體。
2.根據權利要求1所述的帶參考氣室的光電探測器的制備方法,其特征在于,所述光電探測器本體為第一TO封裝光電探測器,所述第一TO封裝光電探測器包括第一光敏元件(10)、第一TO管帽(11)、第一TO管座(12)、第一TO管腳(13)和第一管帽透鏡(14),所述第一TO管帽(11)密封固定在所述第一TO管座(12)上,所述第一管帽透鏡(14)設置在所述第一TO管帽(11)上,所述第一光敏元件(10)固定在所述第一TO管座(12)上,并與所述第一TO管腳(13)電連接;
所述第一TO管帽(11)的內壁與所述第一TO管座(12)的內壁合圍而成所述參考氣室(100);所述第一TO管帽(11)與所述第一TO管座(12)之間設有第一焊接處(15);
則將所述被測氣體注入所述光電探測器本體內部的所述參考氣室內,具體包括:
將所述被測氣體通過所述第一焊接處(15)注入所述參考氣室(100)內;
則在所述參考氣室注入所述被測氣體之后,采用所述焊料通過所述加熱融化焊接方式對所述參考氣室進行密封,具體包括:
在通過所述第一焊接處(15)注入所述被測氣體之后,采用所述加熱融化焊接方式對所述第一焊接處(15)進行密封。
3.根據權利要求1所述的帶參考氣室的光電探測器的制備方法,其特征在于,所述光電探測器本體為第一TO封裝光電探測器,所述第一TO封裝光電探測器包括第一光敏元件(10)、第一TO管帽(11)、第一TO管座(12)、第一TO管腳(13)和第一管帽透鏡(14),所述第一TO管帽(11)密封固定在所述第一TO管座(12)上,所述第一管帽透鏡(14)設置在所述第一TO管帽(11)上,所述第一光敏元件(10)固定在所述第一TO管座(12)上,并與所述第一TO管腳(13)電連接;
所述第一TO管帽(11)的內壁與所述第一TO管座(12)的內壁合圍而成所述參考氣室(100);
所述第一TO封裝光電探測器上還設有第一注入孔(16),所述第一注入孔(16)設置在所述第一TO管帽(11)或第一TO管座(12)的外壁上;
則將所述被測氣體注入所述光電探測器本體內部的所述參考氣室內,具體包括:
將所述被測氣體通過所述第一注入孔(16)注入所述參考氣室(100)內;
則在所述參考氣室注入所述被測氣體之后,采用所述焊料通過所述加熱融化焊接方式對所述參考氣室進行密封,具體包括:
在通過所述第一注入孔(16)注入所述被測氣體之后,采用所述加熱融化焊接方式對所述第一注入孔(16)進行密封。
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