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[發明專利]一種帶參考氣室的光電探測器的制備方法有效

專利信息
申請號: 201811550051.6 申請日: 2018-12-18
公開(公告)號: CN109781659B 公開(公告)日: 2020-12-11
發明(設計)人: 宋子毅;蘆稷臣 申請(專利權)人: 武漢市翎風光電科技有限公司;宋子毅
主分類號: G01N21/39 分類號: G01N21/39;H01L31/0203
代理公司: 武漢維創品智專利代理事務所(特殊普通合伙) 42239 代理人: 余麗霞;葉麗麗
地址: 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** 國省代碼: 湖北;42
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 參考 光電 探測器 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種帶參考氣室的光電探測器的制備方法,其特征在于,應用于帶參考氣室的光電探測器,所述帶參考氣室的光電探測器包括光電探測器本體,所述光電探測器本體內設有參考氣室(100),所述參考氣室(100)內填充有被測氣體,方法包括以下步驟:

將所述被測氣體注入所述光電探測器本體內部的所述參考氣室內;

在所述參考氣室注入所述被測氣體之后,采用焊料通過加熱融化焊接方式對所述參考氣室進行密封;

所述焊料包括金屬焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一種;

所述加熱融化焊接方式包括脈沖加熱方式、恒溫加熱方式、氣體加熱方式和激光加熱方式中的至少一種;

所述被測氣體是易燃易爆氣體。

2.根據權利要求1所述的帶參考氣室的光電探測器的制備方法,其特征在于,所述光電探測器本體為第一TO封裝光電探測器,所述第一TO封裝光電探測器包括第一光敏元件(10)、第一TO管帽(11)、第一TO管座(12)、第一TO管腳(13)和第一管帽透鏡(14),所述第一TO管帽(11)密封固定在所述第一TO管座(12)上,所述第一管帽透鏡(14)設置在所述第一TO管帽(11)上,所述第一光敏元件(10)固定在所述第一TO管座(12)上,并與所述第一TO管腳(13)電連接;

所述第一TO管帽(11)的內壁與所述第一TO管座(12)的內壁合圍而成所述參考氣室(100);所述第一TO管帽(11)與所述第一TO管座(12)之間設有第一焊接處(15);

則將所述被測氣體注入所述光電探測器本體內部的所述參考氣室內,具體包括:

將所述被測氣體通過所述第一焊接處(15)注入所述參考氣室(100)內;

則在所述參考氣室注入所述被測氣體之后,采用所述焊料通過所述加熱融化焊接方式對所述參考氣室進行密封,具體包括:

在通過所述第一焊接處(15)注入所述被測氣體之后,采用所述加熱融化焊接方式對所述第一焊接處(15)進行密封。

3.根據權利要求1所述的帶參考氣室的光電探測器的制備方法,其特征在于,所述光電探測器本體為第一TO封裝光電探測器,所述第一TO封裝光電探測器包括第一光敏元件(10)、第一TO管帽(11)、第一TO管座(12)、第一TO管腳(13)和第一管帽透鏡(14),所述第一TO管帽(11)密封固定在所述第一TO管座(12)上,所述第一管帽透鏡(14)設置在所述第一TO管帽(11)上,所述第一光敏元件(10)固定在所述第一TO管座(12)上,并與所述第一TO管腳(13)電連接;

所述第一TO管帽(11)的內壁與所述第一TO管座(12)的內壁合圍而成所述參考氣室(100);

所述第一TO封裝光電探測器上還設有第一注入孔(16),所述第一注入孔(16)設置在所述第一TO管帽(11)或第一TO管座(12)的外壁上;

則將所述被測氣體注入所述光電探測器本體內部的所述參考氣室內,具體包括:

將所述被測氣體通過所述第一注入孔(16)注入所述參考氣室(100)內;

則在所述參考氣室注入所述被測氣體之后,采用所述焊料通過所述加熱融化焊接方式對所述參考氣室進行密封,具體包括:

在通過所述第一注入孔(16)注入所述被測氣體之后,采用所述加熱融化焊接方式對所述第一注入孔(16)進行密封。

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