[發明專利]一種可監測速率的蒸鍍裝置及速率監測方法

在審

• 申請號: 201811548810.5
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN111334754A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 劉全寶;李浩永;鄭基澤;魯俊瑞;曹景博;金薰
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

本發明公開了一種可監測速率的蒸鍍裝置及速率監測方法，該裝置包括：蒸發源模塊用于加熱待蒸鍍材料至蒸鍍狀態；蒸發源遮擋板模塊，所述遮擋板一端帶傳輸通道a，用于在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，與所述蒸發源模塊連通，在需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，與所述蒸發源模塊錯開；測速模塊包括測速子模塊及與測速子模塊連接的傳輸通道b，在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述傳輸通道b與所述傳輸通道a相對形成用于將蒸鍍材料傳輸至所述測速子模塊的通道，測速子模塊用于蒸鍍速率測速。本發明無論蒸鍍材料是否需要蒸鍍到基板上，都可使蒸鍍速率保持恒定，提高了器件基板蒸鍍效率。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種可監測速率的蒸鍍裝置及速率監測方法。

背景技術

有機發光二極管OLED，是一種新型顯示器件，具有廣視角、寬色域、高對比度、色彩鮮艷、還原度高等優點，其應用愈發廣泛。目前OLED器件的生產制造工藝主要還是以有機物/無機物熱蒸鍍為主。制作OLED各功能層的主要工藝手段是將盛放在各蒸鍍源內的蒸鍍材料，蒸鍍到基板上。因為OLED不同功能層的材料不同，所以需要使用不同的蒸發源來蒸鍍不同的蒸鍍材料，包括：注入層材料、傳輸層材料、發光材料、電極材料等。

在實際使用過程中，用于蒸鍍OLED各層材料的蒸發源布置在蒸鍍工藝腔室內，且根據不同的生產和制備要求，蒸鍍工藝腔室內往往會分布多個可用于蒸鍍各層材料的蒸發源。各蒸發源上部安裝了蒸發源遮擋板，蒸發源遮擋板開啟時，蒸發源材料蒸鍍到基板上，蒸發源遮擋板關閉時，蒸發源內材料結束蒸鍍狀態。

一般地，在蒸鍍過程中，位于蒸發源上部會安裝用于監控材料蒸鍍速率信息的石英晶體微天平QCM，QCM在蒸發源遮擋板關閉時，無法監控材料的蒸鍍速率。所以在同一蒸鍍工藝腔室內蒸鍍不同材料時，因為需要保證蒸鍍材料的純凈性，一般都是等待一種材料蒸發源蒸鍍結束，完成降溫到待用狀態后，再進行第二種材料蒸發源的升溫和蒸鍍。在進行這樣的蒸鍍過程時，在有限時間內無法提高器件的制備效率。

發明內容

本發明提供一種可監測速率的蒸鍍裝置及速率監測方法，解決了在同一蒸鍍工藝腔室內蒸鍍不同材料時，因為需要保證蒸鍍材料的純凈性，一般都是等待一種材料蒸發源蒸鍍結束，完成降溫到待用狀態后，再進行第二個材料蒸發源的升溫和蒸鍍，在進行這樣的蒸鍍過程時，在有限的時間內無法提高器件的制備效率的問題。

為了解決上述的技術問題，本發明提供了一種可監測速率的蒸鍍裝置及速率監測方法，具體包括：

依照本發明第一方面，提供一種可監測速率的蒸鍍裝置，所述裝置包括蒸發源模塊、蒸發源遮擋板模塊和測速模塊，包括：

所述蒸發源模塊包括坩堝和加熱子模塊，所述加熱子模塊用于加熱所述坩堝內的待蒸鍍材料至蒸鍍狀態；

所述蒸發源遮擋板模塊包括遮擋板，所述遮擋板一端帶傳輸通道a且可繞所述另一端旋轉，用于在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與所述坩堝連通，在需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與所述坩堝錯開；

所述測速模塊包括測速子模塊及與測速子模塊連接的傳輸通道b，在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述傳輸通道b與所述傳輸通道a相對形成用于將蒸鍍材料傳輸至所述測速子模塊的通道，所述測速子模塊用于根據監測到的蒸鍍材料進行蒸鍍速率測速。

依照本發明第二方面，一種蒸鍍工藝腔室，包括：

至少兩個可監測速率的蒸鍍裝置；

在其中一個可監測速率的蒸鍍裝置利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，將該可監測速率的蒸鍍裝置的遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與坩堝錯開，將此時不需要進行蒸鍍的可監測速率的蒸鍍裝置的遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與坩堝連通。

依照本發明第三方面，提供一種蒸鍍速率監測方法，包括：