[發明專利]一種可監測速率的蒸鍍裝置及速率監測方法

在審

• 申請號: 201811548810.5
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN111334754A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 劉全寶;李浩永;鄭基澤;魯俊瑞;曹景博;金薰
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種可監測速率的蒸鍍裝置，所述裝置包括蒸發源模塊、蒸發源遮擋模塊和測速模塊，其特征在于，包括：

所述蒸發源模塊包括坩堝和加熱子模塊，所述加熱子模塊用于加熱所述坩堝內的待蒸鍍材料至蒸鍍狀態；

所述蒸發源遮擋板模塊包括遮擋板，所述遮擋板一端帶傳輸通道a且可繞所述另一端旋轉，用于在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與所述蒸發源模塊連通，在需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與所述蒸發源模塊錯開；

所述測速模塊包括測速子模塊及與測速子模塊連接的傳輸通道b，在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述傳輸通道b與所述傳輸通道a相對形成用于將蒸鍍材料傳輸至所述測速子模塊的通道，所述測速子模塊用于根據監測到的蒸鍍材料進行蒸鍍速率測速。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，遮擋板平行于所述蒸發源坩堝的開口，所述傳輸通道a位于所述坩堝上方且與所述坩堝開口成預設角度。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述蒸發源遮擋板模塊還包括：

垂直于所述遮擋板的支撐架，所述遮擋板另一端與所述支撐架的一端固定，在支撐架旋轉時帶動所述遮擋板旋轉；或者

所述遮擋板另一端與所述支撐架的一端活動連接以圍繞所述支撐架旋轉。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述蒸發源模塊還包括：隔離板，用于隔離所述坩堝和加熱子模塊。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，

所述隔離板包裹在所述坩堝外側，所述隔離板的形狀根據所述坩堝形狀決定，位于所述坩堝和所述加熱子模塊之間。

6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，

所述隔離板材質為熱膨脹系數小于預設系數、導熱性能達到預設條件的金屬或陶瓷。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述測速模塊還包括：

遮擋模塊，用于防止通過通道傳輸到所述測速子模塊的蒸鍍材料蒸發到所述測速子模塊外；所述遮擋模塊包括側邊、底邊和與傳輸通道b的靠近測速子模塊一端連接的頂邊，所述遮擋模塊包裹在測速子模塊的外側。

8.一種蒸鍍工藝腔室，其特征在于，包括：

至少兩個可監測速率的蒸鍍裝置；

在其中一個可監測速率的蒸鍍裝置利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，將該可監測速率的蒸鍍裝置的遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與蒸發源模塊錯開，將其他可監測速率的蒸鍍裝置的遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與蒸發源模塊連通。

9.一種蒸鍍速率監測方法，其特征在于，包括：

加熱子模塊加熱坩堝內的待蒸鍍材料至蒸鍍狀態；

在不需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，旋轉遮擋板一端至傳輸通道a與所述坩堝連通，傳輸通道b與所述傳輸通道a相對形成用于將蒸鍍材料傳輸至所述測速子模塊的通道，在需要利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，所述遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與所述坩堝錯開；

測速子模塊根據監測到的蒸鍍材料進行蒸鍍速率測速。

10.一種利用蒸鍍工藝腔室進行蒸鍍的方法，其特征在于，包括：

在蒸鍍工藝腔室內一個可監測速率的蒸鍍裝置利用蒸鍍材料進行蒸鍍時，將該可監測速率的蒸鍍裝置的遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與坩堝錯開；

將蒸鍍工藝腔室內此時不需要進行蒸鍍的可監測速率的蒸鍍裝置的遮擋板一端旋轉至傳輸通道a與坩堝連通。