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[發明專利]一種真空腔室密閉用自動升降門有效

專利信息
申請號: 201811547366.5 申請日: 2018-12-18
公開(公告)號: CN111335764B 公開(公告)日: 2021-06-25
發明(設計)人: 徐方;趙治國;王翔宇;林峰雪;劉恩龍;常志勇 申請(專利權)人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
主分類號: E05F15/57 分類號: E05F15/57
代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 代理人: 何麗英
地址: 110168 遼*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 空腔 密閉 自動 升降
【說明書】:

發明屬于真空腔室密閉技術領域,特別涉及一種真空腔室密閉用自動升降門。包括門板、升降驅動機構、四連桿機構及限位結構,其中四連桿機構連接在門板的一側,四連桿機構的下端與升降驅動機構連接,限位結構設置于四連桿機構的上方,用于限制四連桿機構的上升行程,升降驅動機構驅動四連桿機構和門板上升至與限位結構接觸后,四連桿機構通過限位結構的限位沿水平方向展開,從而使門板與真空腔室貼合,實現真空腔室的密封。發明利用彈簧和四連桿機構完成升降及開關門動作,結構簡單,操作方便,降低成本,且密閉效果比較好。

技術領域

本發明屬于真空腔室密閉技術領域,特別涉及一種真空腔室密閉用自動升降門。

背景技術

現有真空腔室密閉用自動升降門采用兩個自由度的配置,一個自由度用于升降,大多由氣缸驅動,另一個自由度用于關閉/開啟腔室門,該種自動升降門結構復雜,操作繁瑣、且密閉效果不佳。

發明內容

針對上述問題,本發明的目的在于提供一種真空腔室密閉用自動升降門,以解決現有真空傳輸腔室的自動升降門結構復雜,操作繁瑣、且密閉效果不佳的問題。

為了實現上述目的,本發明采用以下技術方案:

一種真空腔室密閉用自動升降門,包括門板、升降驅動機構、四連桿機構及限位結構,其中四連桿機構連接在門板的一側,所述四連桿機構的下端與所述升降驅動機構連接,所述限位結構設置于所述四連桿機構的上方,用于限制所述四連桿機構的上升行程,所述升降驅動機構驅動所述四連桿機構和門板上升至與所述限位結構接觸后,所述四連桿機構通過所述限位結構的限位沿水平方向展開,從而使所述門板與真空腔室貼合,實現所述真空腔室的密封。

所述的真空腔室密閉用自動升降門,所述還包括彈性復位機構,所述彈性復位機構設置于所述四連桿機構內,用于所述四連桿機構復位。

所述四連桿機構包括下輔助連桿、上輔助連桿及豎直連桿,其中下輔助連桿和上輔助連桿平行設置、且兩側分別與豎直連桿和所述門板的一豎直邊框鉸接,形成所述四連桿機構,所述豎直連桿的下端向下延伸、且與所述升降驅動機構連接,所述彈性復位機構設置于所述豎直連桿和所述門板的一豎直邊框之間。

所述彈性復位機構為拉伸彈簧,所述拉伸彈簧的兩端分別與所述豎直連桿和所述門板的一豎直邊框連接,用于所述四連桿機構收縮。

所述門板的一側頂部設有可沿限位結構水平行走的滾輪。

所述限位結構包括沿豎直方向設置的前端限位及沿水平方向設置的上端限位,所述上端限位的內側沿水平方向設有用于所述滾輪行走的滾輪槽。

所述四連桿機構的下端通過調整鉸鏈與所述升降驅動機構連接,通過所述調整鉸鏈調整所述門板與所述真空腔室的平行度。

所述調整鉸鏈包括固定鉸鏈、鉸鏈軸、轉動鉸鏈及調整頂絲,其中固定鉸鏈與所述升降驅動機構連接,所述轉動鉸鏈與所述四連桿機構連接,所述固定鉸鏈和轉動鉸鏈通過鉸鏈軸連接、且可相對轉動,所述調整頂絲與所述固定鉸鏈和轉動鉸鏈連接,用于調整所述固定鉸鏈和轉動鉸鏈之間的相對角度。

所述升降驅動機構為氣缸。

本發明的優點及有益效果是:本發明降低一個驅動源,使用單自由度配置,利用彈簧和四連桿機構完成升降及開關門動作,結構簡單,操作方便,降低成本。

本發明通過調整鉸鏈調整升降門板與真空腔室的平行度,密閉效果比較好。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖;

圖2為本發明中調整鉸鏈的結構示意圖;

圖3為圖2的左視圖。

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