[發明專利]一種檢測環境因素的傳感裝置及其使用方法

有效

• 申請號: 201811547234.2
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN109738060B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 卓恩宗;楊鳳云
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;G01J1/42
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

1.一種檢測環境因素的傳感裝置，其特征在于，所述傳感裝置檢測環境因素并根據環境因素產生電流，所述環境因素包括可見光、待測光、其他光和環境溫度；

所述傳感裝置包括：

第一傳感器，檢測并根據包括待測光在內的環境因素生成第一電流；

第二傳感器，檢測并根據排除待測光在內的環境因素生成第二電流；以及

讀取電路，根據第一電流和第二電流，計算得到反映待測光強度的待測光電流；

所述第一傳感器包括第一阻擋結構，以透過所述待測光；

所述第二傳感器包括第二阻擋結構，以阻擋所述待測光透過；

所述待測光包括紫外光，其他光包括紅外光，所述第一阻擋結構采用非晶硅制成，以阻擋所述可見光透過，而透過所述紫外光和紅外光；

所述第二阻擋結構采用色阻或者金屬中的至少一種制成，以阻擋所述紫外光、紅外光和可見光透過；

所述色阻為紅色色阻、綠色色阻和藍色色阻中的兩種或者三種，或者黑色色阻；

所述第一傳感器包括與所述第一阻擋結構相對設置的第一檢測結構，以檢測所述第一電流；所述第一檢測結構采用氧化鍺硅制成；

在氧化鍺硅中，設硅的摩爾量為x，鍺的摩爾量為y，氧的摩爾量為z，其中，1.0≤x≤2.0，0.1≤y≤0.5，0.5≤z≤1.0；

所述第二傳感器包括與所述第二阻擋結構相對設置的第二檢測結構，以檢測所述第二電流；所述第二檢測結構與所述第一檢測結構的結構相同。

2.如權利要求1所述的一種檢測環境因素的傳感裝置，其特征在于，所述第一傳感器檢測并根據待測光和環境溫度生成第一電流；所述第二傳感器檢測并根據環境溫度生成第二電流；

所述待測光引起的待測光電流由第一電流減去第二電流得到。

3.一種檢測環境因素的傳感裝置，其特征在于，所述傳感裝置檢測環境因素并根據環境因素產生電流，所述環境因素包括可見光、待測光、其他光和環境溫度；

所述傳感裝置包括：

第一傳感器，檢測并根據待測光和環境溫度生成第一電流；

第二傳感器,檢測并根據環境溫度生成第二電流；以及

讀取電路，使用第一電流減去第二電流得到由待測光引起的待測光電流；

其中，當所述待測光包括紅外光，所述其他光包括紫外光時；

所述第一傳感器包括第一阻擋結構；所述第一阻擋結構采用非晶硅制成，以阻擋所述可見光透過，而透過所述紫外光和紅外光；所述第二傳感器包括第二阻擋結構；所述第二阻擋結構采用金屬制成，以阻擋所述紫外光、紅外光和可見光透過；

所述第一傳感器包括與所述第一阻擋結構相對設置的第一檢測結構，以檢測所述第一電流；所述第一檢測結構采用微晶硅或者多晶硅或者氧化鍺硅制成，在氧化鍺硅中，設硅的摩爾量為x，鍺的摩爾量為y，氧的摩爾量為z；其中，0.1≤x≤0.3，1.0≤y≤1.5，0.1≤z≤0.3；

所述第二傳感器包括與所述第二阻擋結構相對設置的第二檢測結構，以檢測所述第二電流；所述第二檢測結構與所述第一檢測結構的結構相同。

4.一種使用如權利要求3所述的檢測環境因素的傳感裝置的方法，其特征在于，包括步驟：

第一傳感器檢測并根據包括待測光在內的環境因素生成第一電流；

第二傳感器檢測并根據排除待測光在內的環境因素生成第二電流；以及

根據第一電流和第二電流計算得到反映待測光強度的待測光電流；

所述待測光包括紅外光，所述其他光包括紫外光；

所述第一阻擋結構采用非晶硅制成，以阻擋所述可見光透過，而透過所述紅外光和紫外光；

所述第二阻擋結構采用金屬制成，以阻擋所述紫外光、紅外光和可見光透過；

所述第一傳感器包括與第一阻擋結構相對設置的第一檢測結構，以檢測所述第一電流；所述第一檢測結構采用微晶硅或者多晶硅或者氧化鍺硅制成，在氧化鍺硅中，設硅的摩爾量為x，鍺的摩爾量為y，氧的摩爾量為z，其中，0.1≤x≤0.3，1≤y≤1.5，0.1≤z≤0.3；

所述第二傳感器包括與第二阻擋結構相對設置的第二檢測結構，以檢測所述第二電流；所述第二檢測結構與所述第一檢測結構的結構相同；

所述第一傳感器檢測并根據包括待測光在內的環境因素生成第一電流；第二傳感器檢測并根據排除待測光在內的環境因素生成第二電流；所述根據第一電流和第二電流計算得到反映待測光強度的待測光電流的步驟包括：

使用第一檢測結構配合第一阻擋結構檢測并根據紅外光和環境溫度生成第一電流；

使用第二檢測結構配合第二阻擋結構檢測并根據環境溫度生成第二電流；以及

根據第一電流和第二電流計算得到反映待測光強度的待測光電流。