[發明專利]一種基于雙面PERC電池片背面SiNx多層膜結構的制備方法

在審

• 申請號: 201811546717.0
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN109638110A
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 王紅娟;費存勇;趙福祥;崔鐘亨
• 申請（專利權）人: 韓華新能源（啟東）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛

本發明公開了一種基于雙面PERC電池片背面SiNx多層膜結構的制備方法，所述制備方法包括以下步驟：對單晶硅片進行清洗制絨后經擴散形成PN結；將具有PN結的所述硅片背面拋光，去除磷硅玻璃及邊緣刻蝕；之后先在硅片的背面沉積Al₂O₃鈍化層，再在Al₂O₃鈍化層上沉積SiNx鈍化膜，所述SiNx鈍化膜為多層結構；在所述硅片的正面沉積SiNx減反膜后在硅片的背面激光局部開口，并絲網印刷、燒結；多層結構SiNx鈍化膜中靠近所述Al₂O₃鈍化層的SiNx鈍化膜的折射率高于遠離所述Al₂O₃鈍化層的SiNx鈍化膜的折射率。本發明的一種基于雙面PERC電池片背面SiNx多層膜結構的制備方法，使得最終的產品能夠有效地提升了電池背面對光的吸收，對雙面電池背面短路電流有明顯的增益，提高了電池片背面的發電效率。

技術領域

本發明涉及太陽能電池制造技術領域，具體涉及一種基于雙面PERC電池片背面SiNx多層膜結構的制備方法。

背景技術

隨著光伏技術的不斷發展，晶硅太陽能電池作為以一種將太陽能轉化為電能的清潔能源產品得到了迅猛發展。

而隨著光伏產業的競爭越來越激烈，降低成本和提高效率變得越來越重要。局部背接觸太陽電池PERC技術以其良好的鈍化結構，可大大提高電池的開路電壓和短路電流，從而提高電池效率。隨著技術的發展，PERC已經逐漸取代傳統的電池結構，成為主流生產技術。而雙面PERC在常規PERC電池片工藝的基礎上無需添加任何額外步驟，只需將背面局部鋁柵線結構替代全部覆蓋的鋁漿，就可以實現雙面發電的功能，進一步提升了PERC電池片的競爭力。

目前行業內使用的PERC背面鈍化膜層也有為Al2O3/SiNx疊層結構，但是 SiNx鈍化膜多為單層膜或雙層膜，且位于外層的SiNx鈍化膜的折射率大于位于內層的SiNx鈍化膜的折射率。這樣的技術方案帶來的缺點是：內層SiNx折射率較低，對硅基體的鈍化不足，單層膜結構使背表面對光的反射率較高，不利于短路電流的提升。

發明內容

有鑒于此，為了克服現有技術的缺陷，本發明的目的是提供一種基于雙面 PERC電池片背面SiNx多層膜結構的制備方法，通過該制備方法得到的硅片能夠有效地提升了電池背面對光的吸收，對雙面電池背面短路電流有明顯的增益，提高了電池片背面的發電效率。

為了達到上述目的，本發明采用以下的技術方案：

一種基于雙面PERC電池片背面SiNx多層膜結構的制備方法，所述制備方法包括以下步驟：對單晶硅片進行清洗制絨后經擴散形成PN結；將具有PN結的所述硅片背面拋光，去除磷硅玻璃及邊緣刻蝕；之后先在硅片的背面沉積 Al₂O₃鈍化層，再在Al₂O₃鈍化層上沉積SiNx鈍化膜，所述SiNx鈍化膜為多層結構；在所述硅片的正面沉積SiNx減反膜后在硅片的背面激光局部開口，并絲網印刷、燒結；多層結構SiNx鈍化膜中靠近所述Al₂O₃鈍化層的SiNx鈍化膜的折射率高于遠離所述Al₂O₃鈍化層的SiNx鈍化膜的折射率。通過在硅片背面的Al₂O₃鈍化層上設置多層SiNx鈍化膜，能夠增加硅片的背面對光的吸收，有效提升了電池背面的短路電流，提高了電池片背面的轉換效率。

優選地，所述Al₂O₃鈍化層的沉積溫度為200～300℃。

優選地，所述Al₂O₃鈍化層的沉積厚度為10～20nm。

優選地，所述SiNx鈍化膜的沉積溫度為400～600℃。