[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 201811542542.6
• 申請日: 2018-12-17
• 公開（公告）號: CN111326440B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 童瑞發;宋香怡
• 申請（專利權）人: 辛耘企業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;秦小耕

1.一種基板處理裝置，其特征在于：包含：

基板承載單元，包括旋轉臺以供設置基板；

流體供應單元，包括至少一噴嘴，對應該旋轉臺設置且可受控地在通過該旋轉臺中心的路徑范圍內移動以供應處理液；及

控制單元，與該流體供應單元耦接并包括人機界面且存儲控制程序，該人機界面具有噴嘴控制區塊以供操作者輸入控制指令，且該控制單元接收該控制指令并由該控制程序對應該控制指令控制該噴嘴，

該控制程序預設對應該路徑范圍內有N個等距連續分布的區段，其中N不小于10，該控制指令包括選擇該N個區段的其中兩個以作為該噴嘴移動范圍的端點區段，而使該控制程序控制該噴嘴相對于該旋轉臺在對應該兩端點區段的位置之間移動，

該控制指令還包括設定該兩端點區段范圍內對應各區段的該噴嘴的移動速度，而使該控制程序控制該噴嘴位于對應各區段位置時相對于該旋轉臺的移動速度，

該控制指令還包括設定期望移動時間，該期望移動時間為該操作者欲使該噴嘴對應自其中一端點區段移動至另一端點區段的時間，該控制程序對應該期望移動時間調整原已由該操作者設定的該兩端點區段范圍內對應各區段的該噴嘴的移動速度，以使該噴嘴自其中一端點區段移動至另一端點區段的時間符合該期望移動時間。

2.根據權利要求1所述基板處理裝置，其特征在于：該控制指令還包括設定該兩端點區段范圍內對應各區段的流體供應量，而使該控制程序控制該噴嘴位于對應各區段位置時噴出的處理液對應該流體供應量。

3.根據權利要求1所述基板處理裝置，其特征在于：該噴嘴控制區塊顯示直角坐標畫面，該直角坐標畫面具有第一坐標軸及第二坐標軸，該第一坐標軸對應所述N個區段的位置，且該第二坐標軸對應該噴嘴的移動速度，該人機界面具有輸入模式以供該操作者在該直角坐標畫面上選擇對應該兩端點區段范圍內的多個坐標位置以產生該控制指令，而使該控制指令包括對應所述坐標位置的參數。

4.根據權利要求2所述基板處理裝置，其特征在于：該噴嘴控制區塊顯示直角坐標畫面，該直角坐標畫面具有第一坐標軸及第二坐標軸，該第一坐標軸對應所述N個區段的位置，且該第二坐標軸對應該噴嘴的流體供應量，該人機界面具有輸入模式以供該操作者在該直角坐標畫面上選擇對應該兩端點區段范圍內的多個坐標位置以產生該控制指令，而使該控制指令包括對應所述坐標位置的參數。

5.根據權利要求3或4所述基板處理裝置，其特征在于：該輸入模式供該操作者在該直角坐標畫面上以訊號觸發的判斷方式連續選擇所述坐標位置以產生該控制指令。

6.根據權利要求3或4所述基板處理裝置，其特征在于：該輸入模式供該操作者在該直角坐標畫面上選擇對應該兩端點區段范圍內相鄰其中一端點區段的一半范圍的坐標位置且由該輸入模式以呈鏡射對稱圖形的方式自動選擇相鄰其中另一端點區段的一半范圍的坐標位置以產生該控制指令。

7.根據權利要求3或4所述基板處理裝置，其特征在于：該輸入模式供該操作者在該直角坐標畫面上選擇對應該兩端點區段的兩個坐標位置及對應該兩端點區段范圍內至少一個坐標位置且由該輸入模式以對應該操作者所選擇的坐標位置形成折線圖的方式自動選擇該兩端點區段范圍內其余的坐標位置以產生該控制指令。

8.根據權利要求1或2所述基板處理裝置，其特征在于：該控制指令還包括設定供液時間及起始供應位置，該供液時間為該噴嘴起始噴出該處理液至結束噴出該處理液的時間，該起始供應位置為使該噴嘴相對于該旋轉臺起始噴出該處理液的位置。

9.根據權利要求1或2所述基板處理裝置，其特征在于：該控制指令還包括設定移動次數、起始供應位置及結束供應位置，該移動次數為使該噴嘴在對應該兩端點區段范圍內往返移動的次數，該起始供應位置為使該噴嘴相對于該旋轉臺起始噴出該處理液的位置，該結束供應位置為使該噴嘴相對于該旋轉臺結束噴出該處理液的位置。