[發明專利]一種連續鍍膜生產線進出口室充氣裝置

在審

• 申請號: 201811537929.2
• 申請日: 2018-12-15
• 公開（公告）號: CN109355636A
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 舒逸;劉光斗;李贊
• 申請（專利權）人: 湖南玉豐真空科學技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種連續鍍膜生產線進出口室充氣裝置，包括充氣管道、設置在充氣管道上的真空閥門、與真空閥門連接并伸入真空箱體的勻氣管，其特征在于：充氣管道上通過支管連接有預充真空閥門，預充真空閥門連接勻氣管并伸入真空箱體內，所述預充真空閥門的口徑小于真空閥門，勻氣管安裝在真空箱體的頂部，在勻氣管下方、基片的上方設置有第一擋板，所述第一擋板與真空箱體壁間留有空隙，在基片的兩側靠近基片各設有第二擋板，所述第二擋板通過支撐桿固定在真空箱體的內壁上，基片的上下端兩塊第二擋板之間留有空隙。

2.如權利要求1所述的一種連續鍍膜生產線進出口室充氣裝置，其特征在于：所述第二擋板由上部擋板和下部擋板組成，下部擋板位于基片的中部以下，上部擋板與下部擋板之間留有空隙。

3.如權利要求1所述的一種連續鍍膜生產線進出口室充氣裝置，其特征在于：所述充氣管道的進氣端連接有過濾器。

4.如權利要求3所述的一種連續鍍膜生產線進出口室充氣裝置，其特征在于：所述過濾器由中效過濾器和高效過濾器組成。