[發明專利]一種石墨烯表面清潔度的檢測方法

有效

• 申請號: 201811536194.1
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN109580650B
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 焦麗穎;王靖慧
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 陳超

1.一種石墨烯表面清潔度的檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

S100，以預設組裝方式在石墨烯表面形成分子層，所述分子層包含探針分子，所述探針分子在所述石墨烯的表面實現自組裝；

S200，將包括所述分子層的所述石墨烯按第一預設溫度烘烤第一預設時間，以使所述探針分子的自組裝規整度更高；

S300，獲取所述石墨烯表面的所述探針分子自組裝規整度的圖像；其中，所述S300包括：在所述石墨烯表面選擇多個基準點，獲取以每個所述基準點為中心的預設范圍內的所述探針分子自組裝規整度的圖像；選擇基準點的探針分子組裝體規整度高的面積為S1，選擇多個基準點的總面積為S2，石墨烯樣品表面整體清潔度的參考值為S1/S2；

S400，將所述圖像與所述探針分子自組裝規整度標準圖像進行比對，得到所述石墨烯的表面清潔度結果；

其中, 所述預設范圍為5um*5um；

所述基準點的數量為5-10個；

所述探針分子為油酸酰胺分子；

所述第一預設溫度比所述探針分子熔點低5℃-20℃。

2.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，還包括：

S500，將含有所述探針分子的所述石墨烯置于真空環境中按第二預設溫度烘烤第二預設時間，以去除所述石墨烯表面的所述探針分子。

3.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，

所述預設組裝方式為：旋涂組裝、溶液浸泡組裝或氣相組裝。

4.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，

所述第一預設時間的數值范圍為10分鐘-60分鐘。

5.根據權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，

所述第二預設溫度的數值范圍為250 C°-350 C°。