[發明專利]一種氣液分離裝置

在審

• 申請號: 201811534209.0
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN109432828A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 常軍
• 申請（專利權）人: 上海正帆半導體設備有限公司;上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: B01D19/00
• 分類號: B01D19/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明涉及化工技術領域，公開一種氣液分離裝置，包括：真空管，其上設有抽氣口；分離管，位于真空管內，分離管內用于流通含有氫氣和/或氦氣的液體；抽氣單元，通過抽氣口抽出真空管內的氣體，使分離管內液體中含有的氣體穿過分離管管壁進入真空管內。本發明通過抽氣單元將真空管內的氣體抽出，使真空管內的壓強小于等于設定值，由于分離管內液體中含有的氫氣或者氦氣的相對分子質量比較小，且分離管內外存在壓差，氣體能夠穿過分離管壁進入真空管內，并通過真空單元將其抽出，通過該氣液分離裝置提高了液體的純凈度。

技術領域

本發明涉及化工技術領域，尤其涉及一種氣液分離裝置。

背景技術

液體中經常會摻雜相對分子質量比較小的氣體，而一般很難將其分離出來。例如化學上常用的正硅酸乙酯(Tetraethyl orthosilicate，簡稱TEOS)，常溫時為液態的有機物，通常使用儲罐封裝，將TEOS運輸至使用點后，使用蒸發罐進行輸送。由于TEOS是液態且刺激性氣味、容易燃燒，輸送時通常先將氦氣接入儲罐，將液態的TEOS壓出，當TEOS到達設定壓力后，將儲罐中的TEOS輸送出至蒸發系統，蒸發罐將TEOS加熱蒸發后輸送至使用點進行使用。

經測試，輸送過程中液態的TEOS中有氦氣殘留，現有技術中沒有分離TEOS及氦氣的裝置，經檢測發現，壓出后的部分TEOS因其中氦氣含量較高而導致其純度較低，致使蒸發后的部分TEOS純度不能滿足使用條件，造成TEOS的浪費。

發明內容

本發明的目的在于提供一種氣液分離裝置，能夠將TEOS中的氦氣分離出來，以解決蒸發部分TEOS因其中氦氣含量較高而導致其純度較低，使該部分TEOS不滿足使用條件的問題。

為達上述目的，本發明采用以下技術方案：

提供一種氣液分離裝置，其特征在于，包括：

真空管，其上設有抽氣口；

分離管，位于所述真空管內且由可溶性聚四氟乙烯制成，所述分離管內用于流通含有氫氣和/或氦氣的液體；

抽氣單元，通過所述抽氣口抽出所述真空管內的氣體，使所述分離管內液體中含有的氣體穿過所述分離管管壁進入所述真空管內。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述分離管為螺旋式分離管。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述真空管內設有泄漏檢測儀，用于檢測所述真空管內的所述液體。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述真空管內設有壓力檢測單元，用于檢測所述真空管內的壓力。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述真空管的絕對壓強值大于5Pa。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述液體為正硅酸乙酯。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，還包括第一閥門，設于所述抽氣單元與所述真空管的連接管路上。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，還包括第二閥門和第三閥門，分別設于所述分離管的介質進口和介質出口。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述第一閥門、所述第二閥門及所述第三閥門下方分別設有第一閥門支架、第二閥門支架及第三閥門支架。

作為一種氣液分離裝置的優選方案，所述第一閥門和所述第三閥門的出口管路上分別設有第一閥門堵頭和第三閥門堵頭，所述第二閥門的進口管路上設有第二閥門堵頭。

本發明的有益效果為：通過抽氣單元將真空管內的氣體抽出，使真空管內的壓強小于等于設定值，由于分離管內液體中含有的氫氣或者氦氣的相對分子質量比較小，且分離管內外存在壓差，氣體能夠穿過分離管壁進入真空管內，并通過真空單元將其抽出，通過該氣液分離裝置提高了液體的純凈度。

附圖說明