[發明專利]一種氣液分離裝置在審
| 申請號： | 201811534209.0 | 申請日： | 2018-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN109432828A | 公開（公告）日： | 2019-03-08 |
| 發明（設計）人： | 常軍 | 申請（專利權）人： | 上海正帆半導體設備有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D19/00 | 分類號： | B01D19/00 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201613 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空管 分離管 液分離裝置 抽氣單元 抽出 氫氣 抽氣口 氦氣 純凈度 化工技術領域 氣液分離裝置 穿過 壓強 真空單元 壓差 流通 | ||
1.一種氣液分離裝置，其特征在于，包括：
真空管(12)，其上設有抽氣口(211)；
分離管(13)，位于所述真空管(12)內且由可溶性聚四氟乙烯制成，所述分離管(13)內用于流通含有氫氣和/或氦氣的液體；
抽氣單元，通過所述抽氣口(211)抽出所述真空管(12)內的氣體，使所述分離管(13)內液體中含有的氣體穿過所述分離管(13)管壁進入所述真空管(12)內。
2.根據權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述分離管(13)為螺旋式分離管。
3.根據權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述真空管(12)內設有泄漏檢測儀(14)，用于檢測所述真空管(12)內的所述液體。
4.根據權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述真空管(12)內設有壓力檢測單元，用于檢測所述真空管(12)內的壓力。
5.根據權利要求4所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述真空管(12)的絕對壓強值大于5Pa。
6.根據權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述液體為正硅酸乙酯。
7.根據權利要求1至6任一項所述的氣液分離裝置，其特征在于，還包括第一閥門(212)，設于所述抽氣單元與所述真空管(12)的連接管路上。
8.根據權利要求7所述的氣液分離裝置，其特征在于，還包括第二閥門(221)和第三閥門(231)，分別設于所述分離管(13)的介質進口(210)和介質出口(230)。
9.根據權利要求8所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述第一閥門(212)、所述第二閥門(221)及所述第三閥門(231)下方分別設有第一閥門支架(213)、第二閥門支架(222)及第三閥門支架(232)。
10.根據權利要求9所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述第一閥門(212)和所述第三閥門(231)的出口管路上分別設有第一閥門堵頭(214)和第三閥門堵頭(233)，所述第二閥門(221)的進口管路上設有第二閥門堵頭(223)。
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