[發(fā)明專利]一種防止單晶硅生長爐高溫計取光孔玻璃沾污的裝置及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811529112.0 | 申請日： | 2018-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN111321459A | 公開（公告）日： | 2020-06-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 秦瑞鋒;魯強;姜艦;連慶偉;蓋晶虎;戴小林;吳志強 | 申請（專利權(quán)）人： | 有研半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100 | 代理人： | 劉秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 防止 單晶硅 生長 高溫 計取光孔 玻璃 沾污 裝置 方法 | ||
1.一種防止單晶硅生長爐高溫計取光孔玻璃沾污的裝置，其特征在于，該裝置由懸掛板、連接桿、屏蔽環(huán)三部分組成，連接桿連接在懸掛板與屏蔽環(huán)之間；該裝置位于熱場的固化碳氈與爐體之間，屏蔽環(huán)、固化碳氈上的透光孔、爐體上的取光孔三者的幾何中心位于一條直線上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述屏蔽環(huán)選用石墨材質(zhì)或者碳纖維材質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述連接桿與懸掛板的連接處為梯形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述屏蔽環(huán)的內(nèi)徑大于透光孔與取光孔的內(nèi)徑。
5.一種使用權(quán)利要求1-4中任一項所述的裝置防止單晶硅生長爐高溫計取光孔玻璃沾污的方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)檢查保溫桶與加熱器之間的距離是否相等；
(2)將固化碳氈安裝在保溫桶之外，確保固化碳氈上透光孔與爐體上取光孔的幾何中心位于一條直線上；
(3)將所述裝置安裝在固化碳氈與爐體中間，確保固化碳氈透光孔、屏蔽環(huán)、爐體上取光孔三者的幾何中心位于一條直線上。
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