[發明專利]一種激光摻雜選擇性發射結及其制作方法

在審

• 申請號: 201811527098.0
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN109545903A
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 許佳平;朱惠君;張昕宇;金浩;陳康平;姜傳偉;余云洋
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，包括：

對初步擴散發射結進行局部激光照射，以得到預處理發射結；

去除所述預處理發射結表面的摻雜源，以得到二次處理發射結；

利用預設質量分數的堿溶液，沿激光照射方向對所述二次處理發射結的表面進行腐蝕，腐蝕高度為預設高度，以得到激光摻雜選擇性發射結。

2.如權利要求1所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，所述沿激光照射方向對所述二次處理發射結進行腐蝕包括：

沿激光照射方向對所述二次處理發射結的表面均勻地進行腐蝕。

3.如權利要求2所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，所述預設高度的取值范圍為20nm-150nm，包括端點值。

4.如權利要求3所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，所述預設質量分數的取值范圍為1‰-5％，包括端點值。

5.如權利要求4所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，所述堿溶液的溫度取值范圍為15℃-50℃，包括端點值。

6.如權利要求1至5任一項所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，所述沿激光照射方向對所述二次處理發射結的表面進行腐蝕時，腐蝕時間的取值范圍為10s-5min，包括端點值。

7.如權利要求6所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，當所述摻雜源為磷硅玻璃時，所述去除所述預處理發射結表面的摻雜源，以得到二次處理發射結包括：

用氫氟酸溶液去除所述預處理發射結表面的磷硅玻璃，以得到二次處理發射結，所述氫氟酸溶液的質量分數取值范圍為0.5％-5％，包括端點值。

8.如權利要求7所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，在所述利用預設質量分數的堿溶液，沿激光照射方向對所述二次處理發射結進行腐蝕，腐蝕高度為預設高度，以得到激光摻雜選擇性發射結之后還包括：

在所述激光摻雜選擇性發射結腐蝕后的表面形成預設厚度的氧化層。

9.如權利要求8所述的激光摻雜選擇性發射結的制作方法，其特征在于，所述在所述激光摻雜選擇性發射結腐蝕后的表面形成預設厚度的氧化層包括：

利用紫外光臭氧照射或者雙氧水溶液，在所述激光摻雜選擇性發射結腐蝕后的表面形成預設厚度的氧化層，其中，雙氧水溶液的質量分數取值范圍為5％-20％，包括端點值。

10.一種激光摻雜選擇性發射結，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項制作方法得到的激光摻雜選擇性發射結。