[發明專利]一種聚合物樹脂及其制備方法和應用

在審

• 申請號: 201811525923.3
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN109679023A
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 許箭;秦龍;袁華;汪武平;耿文練;花雷;陳一鳴
• 申請（專利權）人: 儒芯微電子材料（上海）有限公司
• 主分類號: C08F222/40
• 分類號: C08F222/40;C08F220/14;C08F216/02;C09J135/00
• 代理公司: 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 楊飛

1.一種聚合物樹脂，其特征在于，所述聚合物樹脂具有如下通式：

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₆、R₈中的每個選自H、苯基或含1-4個碳原子的烷烴基團；

R₅選自含1-10個碳原子的直鏈、支鏈或環狀烴類基團，苯基或芐基；

R₇選自1-10個碳原子的直鏈、支鏈或環狀烴類基團；

X選自含1-10個碳原子的直鏈、支鏈、環狀烴類基團，醚類基團，酯基，酰胺基團或芳香基團。

2.根據權利要求1所述的聚合物樹脂，其特征在于，所述聚合物樹脂由馬來酰亞胺單體、N-取代的馬來酰亞胺單體、丙烯酸酯類單體和含六氟異丙醇結構單體共聚而成。

3.根據權利要求2所述的聚合物樹脂，其特征在于，所述N-取代的馬來酰亞胺單體選自

4.根據權利要求2所述的聚合物樹脂，其特征在于，所述丙烯酸酯類單體選自甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯或丙烯酸叔丁酯。

5.根據權利要求2所述的聚合物樹脂，其特征在于，所述含六氟異丙醇結構單體選自

6.根據權利要求1所述的聚合物樹脂，其特征在于，所述聚合物樹脂的重均分子量范圍為10000-200000，分子量分布為1-5。

7.根據權利要求1所述的聚合物樹脂，其特征在于，所述馬來酰亞胺單體按重量計占所述聚合物樹脂的單體的0.1％-20％，所述N-取代的馬來酰亞胺單體按重量計占所述聚合物樹脂的單體的20％-70％，所述丙烯酸酯類單體按重量計占所述聚合物樹脂的單體的1％-50％，所述含六氟異丙醇結構單體按重量計占所述聚合物樹脂的單體的0.5％-30％。

8.一種制備權利要求1-7中任一項所述的聚合物樹脂的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

a、將馬來酰亞胺單體、N-取代的馬來酰亞胺單體、丙烯酸酯類單體和含六氟異丙醇結構單體溶于反應溶劑中，在氮氣保護下，加熱至50-120℃，隨后加入引發劑，在50-120℃下磁力攪拌反應5-36h；

b、將步驟a反應得到的混合溶液在甲醇或水中沉淀析出，析出的沉淀經真空干燥6-48h，即得到所述聚合物樹脂。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述引發劑選自偶氮二異丁腈(AIBN)、偶氮二異戊腈、過氧化二苯甲酰(BPO)，所述引發劑占單體總摩爾數的0.02％-2％。

10.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述反應溶劑選自四氫呋喃、二氧六環、二甲亞砜、N,N-二甲基甲酰胺、甲苯、二甲苯或氯苯。

11.一種金屬剝離膠組合物，其特征在于，所述金屬剝離膠組合物由權利要求1-7中任一項所述的聚合物樹脂與堿溶調節劑、感光劑和光刻膠溶劑中的一種或多種復配制得，所述金屬剝離膠組合物按重量計由如下組分組成：

聚合物樹脂1-30％；

堿溶調節劑0-20％；

感光劑0-20％；

光刻膠溶劑50-98％。

12.根據權利要求11所述的金屬剝離膠組合物，其特征在于，所述堿溶調節劑選自雙酚A(BPA)或1,1,1-三(4-羥基苯基)乙烷(THPE)。

13.根據權利要求11所述的金屬剝離膠組合物，其特征在于，所述感光劑選自2,1,4-三羥基二苯甲酮重氮萘醌磺酸酯、2,1,5-三羥基二苯甲酮重氮萘醌磺酸酯、香豆素6或7-氨基-4-甲基香豆素。