[發(fā)明專利]一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的鼓泡清洗槽

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811524552.7
• 申請(qǐng)日: 2018-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111318509A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖北浚山光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/10
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 黃石市三益專利商標(biāo)事務(wù)所 42109
• 代理人: 饒卓識(shí)

本發(fā)明涉及金屬掩膜板清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的鼓泡清洗槽，包括一個(gè)上端開(kāi)口的矩形槽體，槽體側(cè)壁上裝有進(jìn)水管，槽體底部裝有出水管，槽體外部一側(cè)裝有一臺(tái)鼓風(fēng)機(jī)，鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口裝有一根管道，管道包括跨過(guò)槽體側(cè)壁上方的U型管，U型管伸入槽體內(nèi)裝有一根沿槽體長(zhǎng)度方向布置的水平直管，水平直管頂部沿全長(zhǎng)設(shè)有若干個(gè)風(fēng)孔；本發(fā)明清洗后金屬掩膜板的清潔度更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金屬掩膜板清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的鼓泡清洗槽。

背景技術(shù)

有機(jī)電致發(fā)光器件，具有自發(fā)光、反應(yīng)時(shí)間快、視角廣、成本低、制造工藝簡(jiǎn)單、分辨率佳及高亮度等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是下一代的平面顯示器新興應(yīng)用技術(shù)。在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)電發(fā)光二極管）技術(shù)中，用于真空蒸鍍的掩膜板是一項(xiàng)非常重要和關(guān)鍵的部件，該部件的質(zhì)量直接影響OLED產(chǎn)品的質(zhì)量和制造成本。

掩膜板（Mask），特別是細(xì)小網(wǎng)格的掩膜板（Fine Mask），在初加工成型后，會(huì)在網(wǎng)格內(nèi)或表面殘留金屬邊角料等顆粒物質(zhì)，影響掩膜板的正常使用。在循環(huán)使用的過(guò)程中，掩膜板上會(huì)沾上有機(jī)發(fā)光材料等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)將影響掩膜板的精度或正常使用，在將掩膜板再次投入使用前必須清除。

目前用于清洗金屬掩膜板的清洗系統(tǒng)包括若干個(gè)清洗槽，由于自身結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不夠合理，其清洗效果不佳，難以達(dá)到用戶要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就是為了解決目前用于清洗金屬掩膜板的清洗系統(tǒng)包括若干個(gè)清洗槽，由于自身結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不夠合理，其清洗效果不佳，難以達(dá)到用戶要求的問(wèn)題，提供一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的鼓泡清洗槽。

本發(fā)明的具體方案是：一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的鼓泡清洗槽，包括一個(gè)上端開(kāi)口的矩形槽體，槽體側(cè)壁上裝有進(jìn)水管，槽體底部裝有出水管，槽體外部一側(cè)裝有一臺(tái)鼓風(fēng)機(jī)，鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口裝有一根管道，管道包括跨過(guò)槽體側(cè)壁上方的U型管，U型管伸入槽體內(nèi)裝有一根沿槽體長(zhǎng)度方向布置的水平直管，水平直管頂部沿全長(zhǎng)設(shè)有若干個(gè)風(fēng)孔。

本發(fā)明所述槽體側(cè)壁上裝有電加熱管。

本發(fā)明所述槽體底部設(shè)有一凹坑，所述出水管安裝在凹坑上。

本發(fā)明工作原理如下：裝有金屬掩膜板的載具通過(guò)機(jī)械手放入清洗槽內(nèi)，使金屬掩膜板完全浸入清洗液中，系統(tǒng)打開(kāi)鼓風(fēng)機(jī)將外界的空氣鼓入清洗槽內(nèi)，空氣從位于槽底的風(fēng)孔向上竄動(dòng)的過(guò)程中增加了清洗液與金屬掩膜板的接觸，可將金屬掩膜板的角落及難以清洗的地方清洗干凈；電加熱管用于維持清洗液的溫度以保持清洗液的活性。

本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：可將金屬掩膜板的角落及難以清洗的地方清洗干凈，清洗后金屬掩膜板的清潔度更高；槽體底部設(shè)計(jì)凹坑利于將需要更換的清洗液放完。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的立體視圖；

圖2是圖1的俯視圖；

圖3是圖2的A-A視圖；

圖4是圖2的B-B視圖；

圖中：1-槽體，2-U型管，3-進(jìn)水管，4-鼓風(fēng)機(jī)，5-水平直管，6-電加熱管，7-出水管，8-風(fēng)孔，9-凹坑。

具體實(shí)施方式

參見(jiàn)圖1-4，本實(shí)施例包括一個(gè)上端開(kāi)口的矩形槽體1，槽體1側(cè)壁上裝有進(jìn)水管3，槽體1底部裝有出水管7，槽體1外部一側(cè)裝有一臺(tái)鼓風(fēng)機(jī)4，鼓風(fēng)機(jī)4的出風(fēng)口裝有一根管道，管道包括跨過(guò)槽體1側(cè)壁上方的U型管2，U型管2伸入槽體1內(nèi)裝有一根沿槽體1長(zhǎng)度方向布置的水平直管5，水平直管5頂部沿全長(zhǎng)設(shè)有若干個(gè)風(fēng)孔8。

本實(shí)施例所述槽體1側(cè)壁上裝有電加熱管6。

本實(shí)施例所述槽體1底部設(shè)有一凹坑9，所述出水管7安裝在凹坑9上。