[發明專利]一種用于金屬掩膜板清洗系統的鼓泡清洗槽在審

申請號：	201811524552.7	申請日：	2018-12-13
公開（公告）號：	CN111318509A	公開（公告）日：	2020-06-23
發明（設計）人：	唐軍	申請（專利權）人：	湖北浚山光電有限公司
主分類號：	B08B3/10	分類號：	B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00
代理公司：	黃石市三益專利商標事務所 42109	代理人：	饒卓識
地址：	435000 湖北***	國省代碼：	湖北;42
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于金屬掩膜板清洗系統
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【權利要求書】：

1.一種用于金屬掩膜板清洗系統的鼓泡清洗槽，包括一個上端開口的矩形槽體，槽體側壁上裝有進水管，槽體底部裝有出水管，其特征是：槽體外部一側裝有一臺鼓風機，鼓風機的出風口裝有一根管道，管道包括跨過槽體側壁上方的U型管，U型管伸入槽體內裝有一根沿槽體長度方向布置的水平直管，水平直管頂部沿全長設有若干個風孔。

2.根據權利要求1所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的鼓泡清洗槽，其特征是：所述槽體側壁上裝有電加熱管。

3.根據權利要求1所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的鼓泡清洗槽，其特征是：所述槽體底部設有一凹坑，所述出水管安裝在凹坑上。

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