[發(fā)明專利]一種平鋪式擴散裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811524523.0
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN109360802A
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何振杰
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州海萊德智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
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本發(fā)明的一種平鋪式擴散裝置，包括擴散腔體，擴散腔體內(nèi)設(shè)置有用以傳送硅片的傳送裝置和用于對傳送裝置上的硅片進行高溫加熱的第一加熱裝置，第一加熱裝置設(shè)置在傳送裝置的上方；傳送裝置由多組滾輪構(gòu)成，滾輪通過轉(zhuǎn)動以傳送硅片在擴散腔體內(nèi)運動。本發(fā)明平鋪式擴散裝置通過平鋪式的多點支撐傳動方式，在相同的條件下，可延長硅片表面加熱時間和溫度，推進摻雜結(jié)深，從而提高硅片表面的摻雜質(zhì)量，提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率，適應(yīng)大尺寸硅片和超薄硅片，降低自動化傳輸技術(shù)難度，滿足行業(yè)產(chǎn)業(yè)化需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光伏設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種平鋪式擴散裝置。

背景技術(shù)

太陽能電池片領(lǐng)域中的擴散工序，多采用的是管式擴散裝置，該方法具有單管單控、操作靈活等特點，是目前行業(yè)的主導(dǎo)技術(shù)。伴隨著光伏技術(shù)的不斷進步，硅片尺寸的不斷增加，管式擴散裝置的石英管管徑從180mm發(fā)展到目前的330mm，長度從1600mm加長至2600mm。高效電池工藝對摻雜品質(zhì)的要求越來越高，通過增大管徑適應(yīng)硅片尺寸、增長石英管長度適應(yīng)行業(yè)對產(chǎn)能需求的技術(shù)手段所帶來的弊端越來越明顯。首先是管徑增大，溫場的截面均勻性變差，從而影響片內(nèi)摻雜均勻性；立式傾角裝載硅片方式，當(dāng)硅片很薄以后會彎曲、翹曲，從而影響摻雜源的分布均勻性，繼面影響片內(nèi)、片間的摻雜均勻性，同時該方式承載硅片對自動化提出了更高的要求，在產(chǎn)能、碎片率等方面都會遇到無法突破的技術(shù)瓶頸。目前行業(yè)內(nèi)存在的平面擴散裝置采用金屬網(wǎng)帶傳送方式，該系統(tǒng)由于存在金屬污染、無法長時間高溫處理摻雜過程，從而造成硅片表面摻雜質(zhì)量較差而未被行業(yè)所認(rèn)可。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種平鋪式擴散裝置，通過平鋪式的多點支撐傳動方式，在相同的條件下，可延長硅片表面加熱時間和溫度，推進摻雜結(jié)深，從而提高硅片表面的摻雜質(zhì)量，提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率，適應(yīng)大尺寸硅片和超薄硅片，降低自動化傳輸技術(shù)難度，滿足行業(yè)產(chǎn)業(yè)化需求。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種平鋪式擴散裝置，包括擴散腔體，所述擴散腔體內(nèi)設(shè)置有用以傳送硅片的傳送裝置和用于對所述傳送裝置上的硅片進行高溫加熱的第一加熱裝置，所述第一加熱裝置設(shè)置在所述傳送裝置的上方；

所述傳送裝置由多組滾輪構(gòu)成，滾輪通過轉(zhuǎn)動以傳送硅片在所述擴散腔體內(nèi)運動。

優(yōu)選的，所述第一加熱裝置為多組加熱燈管，每組加熱燈管均對應(yīng)設(shè)置在每組滾輪的正上方。

優(yōu)選的，所述擴散腔體內(nèi)還設(shè)置有第二加熱裝置，所述第二加熱裝置為多組加熱燈管，每組加熱燈管均對應(yīng)設(shè)置在相鄰的兩組滾輪中間。

優(yōu)選的，兩組滾輪正上方對應(yīng)設(shè)置的兩組加熱燈管與兩組所述滾輪中間的一組加熱燈管的中心的連接線呈等邊三角形。

優(yōu)選的，所述擴散腔體為石英腔體。

優(yōu)選的，所述加熱燈管為鹵素?zé)艄芑蚣t外燈管。

優(yōu)選的，所述擴散腔體內(nèi)飽和填充有氮氣。