[發明專利]一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手

在審

• 申請號: 201811523718.3
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN111321420A
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 唐軍
• 申請（專利權）人: 湖北浚山光電有限公司
• 主分類號: C23G3/00
• 分類號: C23G3/00
• 代理公司: 黃石市三益專利商標事務所 42109
• 代理人: 饒卓識

本發明涉及金屬掩膜板清洗技術領域，具體是一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手，包括安裝在清洗系統縱向梁上的行走機構，行走機構上裝有升降機構，行走機構包括矩形框架，矩形框架的一根橫梁上裝有減速電機，減速電機的兩個輸出端各裝有一根傳動軸，每根傳動軸末端裝有沿縱向梁行走的驅動輪，矩形框架另一橫梁的兩端裝有從動輪，矩形框架中間固定裝有一個龍門架，龍門架上裝有抓取支架，抓取支架與裝載金屬掩膜板的吊具配合作用，龍門架上裝有用于驅動抓取支架升降的升降驅動機構；本發明結構簡單，成本低，維護費用低。

技術領域

本發明涉及金屬掩膜板清洗技術領域，具體是一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手。

背景技術

有機電致發光器件，具有自發光、反應時間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項優點，被認為是下一代的平面顯示器新興應用技術。在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有機電發光二極管）技術中，用于真空蒸鍍的掩膜板是一項非常重要和關鍵的部件，該部件的質量直接影響OLED產品的質量和制造成本。

掩膜板（Mask），特別是細小網格的掩膜板（Fine Mask），在初加工成型后，會在網格內或表面殘留金屬邊角料等顆粒物質，影響掩膜板的正常使用。在循環使用的過程中，掩膜板上會沾上有機發光材料等雜質，這些雜質將影響掩膜板的精度或正常使用，在將掩膜板再次投入使用前必須清除。

目前用于清洗金屬掩膜板的清洗系統包括若干個并排布置的清洗槽，通過機械手將裝載金屬掩膜板的吊具依順序過清洗槽，現有的機械手結構復雜，投入成本較高，維護費用高。

發明內容

本發明的目的就是為了解決現有金屬掩膜板清洗系統的機械手結構復雜，投入成本較高，維護費用高的問題，提供一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手。

本發明的具體方案是：一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手，包括安裝在清洗系統縱向梁上的行走機構，行走機構上裝有升降機構，行走機構包括矩形框架，矩形框架的一根橫梁上裝有減速電機，減速電機的兩個輸出端各裝有一根傳動軸，每根傳動軸末端裝有沿縱向梁行走的驅動輪，矩形框架另一橫梁的兩端裝有從動輪，矩形框架中間固定裝有一個龍門架，龍門架上裝有抓取支架，抓取支架與裝載金屬掩膜板的吊具配合作用，龍門架上裝有用于驅動抓取支架升降的升降驅動機構。

本發明所述升降驅動機構包括安裝在龍門架兩側立柱上的齒輪鏈條傳動機構，齒輪鏈條傳動機構包括上端的驅動齒輪和下端的從動齒輪，驅動齒輪和從動齒輪上繞裝有一根循環的鏈條，位于上端的兩個驅動齒輪之間裝有一根傳動軸，龍門架上裝有與傳動軸連接的電機，所述抓取支架兩端分別固定在兩根立柱的鏈條上。

本發明所述矩形框架的四角處裝有沿清洗系統縱向梁側面移動的導向輪。

本發明工作原理如下：行走機構控制機械手沿清洗系統縱向梁水平移動，實現將吊具在不同清洗槽之間移動的功能；升降驅動機構控制抓取機構升降，實現將吊具從一個清洗槽內取出或將吊具放入槽內的功能。

本發明相比現有技術具有以下優點：結構簡單，成本低，維護費用低，使用壽命長。

附圖說明

圖1是本發明的立體視圖；

圖2是圖1的主視圖；

圖3是圖2的A-A視圖；

圖4是圖3的俯視圖；

圖中：1-矩形框架，2-減速電機，3-驅動輪，4-龍門架，5-抓取支架，6-鏈條，7-驅動齒輪，8-從動齒輪，9-立柱，10-電機，11-從動輪，12-導向輪，13-傳動軸。

具體實施方式