[發明專利]一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手在審
| 申請號： | 201811523718.3 | 申請日： | 2018-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN111321420A | 公開（公告）日： | 2020-06-23 |
| 發明（設計）人： | 唐軍 | 申請（專利權）人： | 湖北浚山光電有限公司 |
| 主分類號： | C23G3/00 | 分類號： | C23G3/00 |
| 代理公司： | 黃石市三益專利商標事務所 42109 | 代理人： | 饒卓識 |
| 地址： | 435000 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 金屬 掩膜板 清洗 系統 機械手 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手，包括安裝在清洗系統縱向梁上的行走機構，行走機構上裝有升降機構，其特征是：行走機構包括矩形框架，矩形框架的一根橫梁上裝有減速電機，減速電機的兩個輸出端各裝有一根傳動軸，每根傳動軸末端裝有沿縱向梁行走的驅動輪，矩形框架另一橫梁的兩端裝有從動輪，矩形框架中間固定裝有一個龍門架，龍門架上裝有抓取支架，抓取支架與裝載金屬掩膜板的吊具配合作用，龍門架上裝有用于驅動抓取支架升降的升降驅動機構。
2.根據權利要求1所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手，其特征是：所述升降驅動機構包括安裝在龍門架兩側立柱上的齒輪鏈條傳動機構，齒輪鏈條傳動機構包括上端的驅動齒輪和下端的從動齒輪，驅動齒輪和從動齒輪上繞裝有一根循環的鏈條，位于上端的兩個驅動齒輪之間裝有一根傳動軸，龍門架上裝有與傳動軸連接的電機，所述抓取支架兩端分別固定在兩根立柱的鏈條上。
3.根據權利要求1所述的一種用于金屬掩膜板清洗系統的機械手，其特征是：所述矩形框架的四角處裝有沿清洗系統縱向梁側面移動的導向輪。
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