[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的脫水槽

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811523705.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111318538A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 湖北浚山光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B13/00
• 分類(lèi)號(hào): B08B13/00;F26B25/00;G03F1/82
• 代理公司: 黃石市三益專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 42109
• 代理人: 饒卓識(shí)

本發(fā)明涉及金屬掩膜板清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的脫水槽，包括一個(gè)上端開(kāi)口的矩形槽體，其特征是：槽體一側(cè)壁外側(cè)裝有一根豎直的抽風(fēng)管，抽風(fēng)管下端裝有引風(fēng)機(jī)，抽風(fēng)管頂端裝有一根與抽風(fēng)管連通的引風(fēng)管，引風(fēng)管向脫水槽前端的清洗槽方向延伸，引風(fēng)管上設(shè)有若干個(gè)風(fēng)孔；抽風(fēng)管上裝有兩根穿入脫水槽槽體內(nèi)的脫水管，其中一根位于脫水槽上端，另一根位于脫水槽下端；本發(fā)明脫水時(shí)可同時(shí)抽出清洗槽的氣體，適用于對(duì)現(xiàn)有脫水槽的改進(jìn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金屬掩膜板清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的脫水槽。

背景技術(shù)

有機(jī)電致發(fā)光器件，具有自發(fā)光、反應(yīng)時(shí)間快、視角廣、成本低、制造工藝簡(jiǎn)單、分辨率佳及高亮度等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是下一代的平面顯示器新興應(yīng)用技術(shù)。在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)電發(fā)光二極管）技術(shù)中，用于真空蒸鍍的掩膜板是一項(xiàng)非常重要和關(guān)鍵的部件，該部件的質(zhì)量直接影響OLED產(chǎn)品的質(zhì)量和制造成本。

掩膜板（Mask），特別是細(xì)小網(wǎng)格的掩膜板（Fine Mask），在初加工成型后，會(huì)在網(wǎng)格內(nèi)或表面殘留金屬邊角料等顆粒物質(zhì)，影響掩膜板的正常使用。在循環(huán)使用的過(guò)程中，掩膜板上會(huì)沾上有機(jī)發(fā)光材料等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)將影響掩膜板的精度或正常使用，在將掩膜板再次投入使用前必須清除。

目前用于清洗金屬掩膜板的清洗系統(tǒng)包括若干個(gè)并排布置的清洗槽，清洗系統(tǒng)的尾端設(shè)有脫水槽用于干燥金屬掩膜板，現(xiàn)有的脫水槽功能單一，僅對(duì)脫水槽單個(gè)槽體作用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就是為了解決現(xiàn)有的脫水槽功能單一，僅對(duì)脫水槽單個(gè)槽體作用的問(wèn)題，提供一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的脫水槽。

本發(fā)明的具體方案是：一種用于金屬掩膜板清洗系統(tǒng)的脫水槽，包括一個(gè)上端開(kāi)口的矩形槽體，槽體一側(cè)壁外側(cè)裝有一根豎直的抽風(fēng)管，抽風(fēng)管下端裝有引風(fēng)機(jī)，抽風(fēng)管頂端裝有一根與抽風(fēng)管連通的引風(fēng)管，引風(fēng)管向脫水槽前端的清洗槽方向延伸，引風(fēng)管上設(shè)有若干個(gè)風(fēng)孔；抽風(fēng)管上裝有兩根穿入脫水槽槽體內(nèi)的脫水管，其中一根位于脫水槽上端，另一根位于脫水槽下端。

本發(fā)明所述抽風(fēng)管底端裝有埋入地下且引出外部的排氣管。

本發(fā)明所述槽體兩側(cè)壁上裝有向清洗系統(tǒng)外部延伸的支撐壁，每個(gè)支撐壁上裝有用于將裝載金屬掩膜板的吊具向清洗系統(tǒng)外輸送的輸送裝置。

本發(fā)明輸送輸送裝置包括固定安裝在支撐壁上的水平的支撐梁，支撐壁外端裝有傳動(dòng)齒輪，支撐壁內(nèi)端或槽體側(cè)壁上裝有驅(qū)動(dòng)齒輪，驅(qū)動(dòng)齒輪上裝有減速電機(jī)，驅(qū)動(dòng)齒輪與傳動(dòng)齒輪上繞裝有一根循環(huán)的鏈條，鏈條位于支撐梁上方的部分固定裝有一塊沿支撐梁滑動(dòng)的滑板，滑板頂部裝有用于承托吊具的支撐塊。

本發(fā)明所述支撐壁外端裝有接近開(kāi)關(guān)，接近開(kāi)關(guān)與減速電機(jī)電氣連接，滑板或支撐塊移動(dòng)到接近開(kāi)關(guān)處時(shí)減速電機(jī)停機(jī)。

本發(fā)明工作原理如下：脫水工作時(shí)，引風(fēng)機(jī)開(kāi)啟將脫水槽內(nèi)的空氣向外抽出達(dá)到風(fēng)干的目的，抽風(fēng)管頂部水平的引風(fēng)管可同時(shí)將前端清洗槽中產(chǎn)生的氣體向外抽；輸送裝置的工作原理如下：脫水干燥完畢后，機(jī)械手將吊具吊出脫水槽放置在支撐塊上，減速電機(jī)動(dòng)作使滑板向清洗系統(tǒng)外移動(dòng)將吊具送出，當(dāng)滑板或支撐塊移動(dòng)到接近開(kāi)關(guān)處時(shí)減速電機(jī)停機(jī)。

本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：1、在脫水槽干燥同時(shí)可將前端清洗槽的氣體抽出；2、脫水槽兩側(cè)裝有輸送裝置可將吊具送出清洗系統(tǒng)，自動(dòng)化程度更高，提高了工作效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的立體視圖；

圖2是圖1的主視圖；

圖中：1-支撐壁，2-槽體，3-接近開(kāi)關(guān)，4-傳動(dòng)齒輪，5-滑板，6-支撐塊，7-支撐梁，8-引風(fēng)機(jī)，9-抽風(fēng)管，10-脫水管，11-減速電機(jī)，12-引風(fēng)管，13-風(fēng)孔,14-排氣管。